Assesment of Plasma Processing of Materials

材料等离子加工的评估

基本信息

  • 批准号:
    8922375
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 5万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    美国
  • 项目类别:
    Standard Grant
  • 财政年份:
    1990
  • 资助国家:
    美国
  • 起止时间:
    1990-03-15 至 1991-08-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

This proposed project would involve an assessment of the basic science underlying low-temperature plasma processes of importance to industry, particularly in materials processing and semiconductor fabrication. The Plasma Science Committee, recently constituted under the auspices of the NAS/NRC with a charge to take a unified look at the plasma field, and funded by several federal agencies including the NSF (ENG, PHY, GEO), has established a subcommittee to study the area of low-temperature plasma science and technology. The subcommittee has recommended holding a workshop of some 10 specialists to take an indepth view of the research needs and opportunities within this area: (i) to identify key research problems in plasma physics and chemistry and the interaction of plasmas with surfaces; (ii) to evaluate the potential impact of advances in low-temperature plasma science on surface processing technology, with an emphasis on semiconductor applications; and (iii) to expose the scientific, technological and educational issues to the plasma science community.
这一拟议项目将涉及评估 低温等离子体的基础科学 对工业的重要性,特别是在 材料加工和半导体制造。 最近成立的等离子体科学委员会 在NAS/NRC的主持下, 统一看待等离子体领域, 包括NSF(ENG, 土力工程处)成立了一个小组委员会, 低温等离子体科学领域, 技术. 小组委员会建议 举办了一个由大约10名专家参加的讲习班, 深入了解研究需求和机会 在这一领域内:(一)确定关键的研究问题 等离子体物理学和化学以及 (二)评估等离子体表面的潜力; 低温等离子体进展的影响 表面处理技术科学, 强调半导体应用;及(iii) 揭露科技教育 等离子体科学界的问题。

项目成果

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  • 影响因子:
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  • 作者:
    Robert Schafrik;Leo Christodoulou;James Williams;Honda Chair
  • 通讯作者:
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  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
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    2021
  • 资助金额:
    $ 5万
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