Sensor-Based Intelligent Adaptive Control for Plasma Process Manufacturing
用于等离子工艺制造的基于传感器的智能自适应控制
基本信息
- 批准号:9461031
- 负责人:
- 金额:$ 7.45万
- 依托单位:
- 依托单位国家:美国
- 项目类别:Standard Grant
- 财政年份:1995
- 资助国家:美国
- 起止时间:1995-05-01 至 1996-08-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
This SBIR research project will develop and implement sensor-based models into an intelligent, adaptive, and neurally-inspired control system for a high-density, low-pressure plasma process on a microwave plasma reactor system. The goal is to address the need for nonlinear and adaptive control methods created by the uncertainty in sensors and components of the microfactory/clustor tools. Special interfaces tailored for the control system will render the time response of the sensors, the neuro-controller, and the actuators to within 1-5 seconds, which is fast enough to achieve real--time and in-situ control. Moreover, the use of analog VLSI chips in implementing the algorithms results in reducing the learning time to, at most, a few milliseconds. This savings in the computational requirement will ensure ample time for precise and fast actions.
该 SBIR 研究项目将开发基于传感器的模型,并将其应用到智能、自适应和神经启发控制系统中,用于微波等离子体反应器系统上的高密度、低压等离子体过程。目标是解决因传感器和微工厂/集群工具组件的不确定性而产生的非线性和自适应控制方法的需求。为控制系统定制的特殊接口将使传感器、神经控制器和执行器的时间响应在1-5秒内,足以实现实时和原位控制。此外,在实现算法时使用模拟 VLSI 芯片可将学习时间缩短至最多几毫秒。计算需求的节省将确保有足够的时间进行精确和快速的操作。
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
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会议论文数量(0)
专利数量(0)
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
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{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
{{ truncateString('Gail Erten', 18)}}的其他基金
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