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State-Resolved Dynamics in Atomic-Layer Epitaxy (ALE) and Laser-ALE of III-V Compound Semiconductors
III-V 化合物半导体原子层外延 (ALE) 和激光 ALE 中的状态分辨动力学
基本信息
- 批准号：9796211
- 负责人：
- 金额：$ 6万
- 依托单位：
- 依托单位国家：美国
- 项目类别：Continuing Grant
- 财政年份：1997
- 资助国家：美国
- 起止时间：1997-07-01 至 1998-07-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
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