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SBIR Phase II: Diffusion Resistant, High Purity Wafer Carriers

SBIR Phase II: Diffusion Resistant, High Purity Wafer Carriers
SBIR 第二阶段：抗扩散、高纯度晶圆载体
批准号：
9801197
负责人：
Lori Bracamonte
金额：
$40.0万
依托单位：
MATERIALS FOCUS INC
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1998
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1998-07-01 至 2000-06-30
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=9801197&HistoricalAwards=false
关键词：
SBIRPhaseIIDiffusionResistant

项目摘要

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中文摘要
翻译
材料焦点公司将开发具有改进的机械性能的无污染晶片载体，并且其比现有载体更便宜，并且其对于半导体工业将是无价的。 这将通过开发高纯度、均匀的SiC-MoSi 2复合材料来实现，该复合材料将用作扩散组件。
英文摘要
Materials Focus Inc. will develop noncontaminating wafer carriers with improved mechanical performance and which are less expensive than current carriers, and which will be invaluable to the semiconductor industry. This will be accomplished by developing high purity, homogenous SiC-MoSi2 composites which will be used as diffusion components.
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会议论文
SBIR Phase I: Lower Cost Carbon-Carbon Composites Densified by Microwave Heating
  • 批准号：
    0912668
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2009
  • 负责人：
    Lori Bracamonte
  • 依托单位：
    MATERIALS FOCUS INC
SBIR Phase I: Microwave Processing of Carbon-Carbon Composites
  • 批准号：
    0638291
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2007
  • 负责人：
    Lori Bracamonte
  • 依托单位：
    MATERIALS FOCUS INC
SBIR Phase I: Low Cost Silicon Carbide Self-Lubricating Ceramics
  • 批准号：
    9760840
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $10.0万
  • 财政年份：
    1998
  • 负责人：
    Lori Bracamonte
  • 依托单位：
    MATERIALS FOCUS INC
SBIR Phase I: Diffusion Resistant, High Purity Wafer Carriers
  • 批准号：
    9661246
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $7.5万
  • 财政年份：
    1997
  • 负责人：
    Lori Bracamonte
  • 依托单位：
    MATERIALS FOCUS INC
国内基金
海外基金
Baryogenesis, Dark Matter and Nanohertz Gravitational Waves from a Dark Supercooled Phase Transition
  • 批准号：
    24ZR1429700
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2024
  • 负责人：
    YUICHIRO NAKAI
  • 依托单位：
    上海交通大学
ATLAS实验探测器Phase 2升级
  • 批准号：
    11961141014
  • 项目类别：
    国际(地区)合作与交流项目
  • 资助金额：
    3350万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    刘衍文
  • 依托单位：
    中国科学技术大学
地幔含水相Phase E的温度压力稳定区域与晶体结构研究
  • 批准号：
    41802035
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    12.0万元
  • 批准年份：
    2018
  • 负责人：
    张里
  • 依托单位：
    北京大学
基于数字增强干涉的Phase-OTDR高灵敏度定量测量技术研究