Reduzierte kinetische Modelle für die Abscheidung von Kohlenstoff aus der Gasphase (A 04)

从气相中分离碳的简化动力学模型 (A 04)

• 批准号: 12961421
• 金额: --
• 依托单位: Campus Süd (aufgelöst)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Collaborative Research Centres
• 财政年份: 2005
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2004-12-31 至 2006-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/12961421?language=en
• 关键词: Reduzierte; kinetische; Modelle; die; Abscheidung

Gegenstand dieses Teilprojektes sind Modellreduktionsstrategien für die chemische Kinetik bei der Gasphasenabscheidung (CVD) und chemischen Gasphaseninfiltration (CVI) von Kohlenstoff, wobei verschiedene Systeme mit den Hauptkomponenten CH4, C2H4, C2H2 und C3H6 beispielhaft als Eduktgase betrachtet werden sollen. Ausgehend von detaillierten Reaktionsmechanismen für die Gasphasenkinetik und die Deposition werden reduzierte kinetische Modelle entwickelt, die dann zur Simulation des Gesamtsystems in CFD-Programmen (CFD – Computational Fluid Dynamics) implementiert werden.

Gegenstand这本Teilprojektes信德Modellreduktionsstrategien毛皮死chemische Kinetik贝der Gasphasenabscheidung (CVD)和chemischen Gasphaseninfiltration (CVI)·冯·Kohlenstoff wobei verschiedene Systeme麻省理工学院窝Hauptkomponenten CH4, C2H4,乙炔和C3H6 beispielhaft als Eduktgase betrachtet了sollen。本文主要研究了模具气相动力学与沉积动力学的关系，并对动力学模型进行了研究，在CFD- programmen（计算流体动力学）中实现了模具动力学仿真。