Halbautomatischer Waferprober mit DC- und HF-Messsystem

带有直流和高频测量系统的半自动晶圆探针台

• 批准号: 135822875
• 金额: --
• 依托单位: Technische Universität Chemnitz
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Research Instrumentation
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2008-12-31 至 无数据
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/135822875?language=en
• 关键词: Halbautomatischer; Waferprober; mit; DC; und

Die Möglichkeit integrierte Strukturen, Bauelemente und Schaltungen charakterisieren zu können, ist Grundvoraussetzung für die Forschung auf dem Gebiet der Mikro- und Nanobauelemente sowie der integrierten analog und mixed-signal Schaltungstechnik. Das an der Professur zur Verfügung stehende Halbleitertestsystem mit 200 mm Waferprober (Anschaffung 1992) ist an seine Leistungsgrenzen gestoßen. Es gestattet nur DC-Messungen mit eingeschränkter, insbesondere für die Neuausrichtung des Forschungsprofils der Professur nicht genügenden Messmöglichkeiten und gleichzeitig unzureichender Messgenauigkeit. Die Charakterisierung von Schaltungen und Systemen ist mit dem bisherigen System nur statisch möglich. Eine Auswertung beispielsweise des Frequenz- und Rauschverhaltens kann mit diesem Messsystem nicht erfolgen. Neben den technischen Einschränkungen besteht zusätzlich ein Engpass an Messkapazität. Die zukünftig geplanten Forschungsprojekte sehen den Einsatz eines Halbleitertestsystems für unterschiedliche Anforderungen vor. Aus diesem Grund ist die Neuanschaffung eines halbautomatischen 300 mm Probersystems mit Messtechnik für die Bauelemente- und Schaltungscharakterisierung im DC und HF-Bereich unbedingt erforderlich. Neben der Messung über Probes kann gleichzeitig auch eine Probe-Card eingesetzt werden. Diese Kombination erlaubt Präzisionsmessungen an einzelnen Strukturen und statistische Auswertungen an ganzen Wafern.

集成结构、器件和器件特性是针对微型和纳米器件的研究而设计的，用于集成模拟和混合信号器件技术。 Das an der Professur zur Verfügung stehende Halbleitertestsystem mit 200 mm Waferprober (Anschaffung 1992) 是一项 Leistungsgrenzen gestoßen。这是 DC-Messungen mit eingeschränkter 的最终版本，它是 Professur nicht genügenden Messmöglichkeiten 和 gleichzeitig unzureichender Messgenauigkeit 的研究概要的一部分。 Die Charakterisierung von Schaltungen und Systemen ist dem dem bisherigen System nur statisch möglich。 Eine Auswertung beispielsweise des Frequenz- und Rauschverhaltens kann mit diesem system nicht erfolgen. Neben den technischen Einschränkungen besteht zusätzlich ein Engpass an Messkapazität。该研究项目是针对非特殊试验系统的特殊测试系统。 Aus diesem Grund ist die Neuanschaffung eines halbautomatischen 300 mm Probersystems mit Messtechnik für die Bauelemente- und Schaltungscharakterisierung im DC and HF-Bereich unbedingt erforderlich. Neben der Messung über Probes cann gleichzeitig auch eine Probe-Card eingesetzt werden。该组合旨在实现独立结构和统计数据的组合。