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CAREER: Multivariate Quality Control of Semiconductor Manufacturing Processes via Adaptive Optimizing Controllers

CAREER: Multivariate Quality Control of Semiconductor Manufacturing Processes via Adaptive Optimizing Controllers
职业：通过自适应优化控制器对半导体制造工艺进行多元质量控制
批准号：
9996031
负责人：
Enrique Del Castillo
金额：
$14.39万
依托单位：
Pennsylvania State Univ University Park
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1998
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1998-08-31 至 2001-08-31
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=9996031&HistoricalAwards=false
关键词：
CAREERMultivariateQualityControlSemiconductor

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