Einfluss der Legierungszusammensetzung und des Gefüges auf das Ermüdungsverhalten dünner substratgebundener Al Schichten

合金成分和结构对薄基体结合铝层疲劳行为的影响

• 批准号: 151186955
• 负责人: Professor Dr. Christoph Eberl
• 金额: --
• 依托单位: Professur für Mikro- und Werkstoffmechanik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2009-12-31 至 2012-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/151186955?language=en
• 关键词: Einfluss; der; Legierungszusammensetzung; und; des

Das wesentliche Ziel dieses Antrags ist es, den Einfluss von Legierungselementen auf das Ermüdungsverhalten von dünnen Metallschichten zu verstehen und darauf aufbauend eine gezielte Entwicklung neuer Dünnschicht-Legierungen mit deutlich verbesserten Ermüdungseigenschaften zu betreiben. Dazu sollen Schichten mit Dicken zwischen einigen μm bis hinunter zu wenigen 100 nm aus ternären Al-Legierungen auf oxidiertem Si Substrat untersucht werden. Dieses wird mittels mikrotechnischer Herstellungsmethoden zu vielen Biegebalken pro Wafer strukturiert und mit jeweils einer Legierungszusammensetzung pro Biegebalken durch einen kombinatorischen Ansatz beschichtet. Für das wissenschaftliche Verständnis des Zusammenhangs zwischen Zusammensetzung, Gefüge und Ermüdungsfestigkeit ist es notwendig, möglichst viele Schichten ermüden zu können. Daher kommt ein spezieller Versuchsaufbau zum Einsatz, der eine schnelle Lebensdauerevaluierung erlaubt. Die mit den zu untersuchenden Legierungen beschichteten Si-Balken werden mittels eines Piezoaktuators periodisch ausgelenkt und die Schädigungsentwicklung als Funktion der Zyklenzahl wird direkt mittels optischer Verfahren verfolgt. Da die Dehnungsamplitude in der (aufgebrachten) Schicht mit zunehmendem Abstand von der Balkeneinspannung abnimmt, kann für jeden Biegebalken ein vollständiges Wöhlerdiagramm ermittelt werden. Die resultierende Schädigungsmorphologie der ermüdeten Schichten soll mittels mikroskopischer Methoden (FIB/REM, TEM) charakterisiert werden. Damit wird es möglich den Einfluss von Schichtzusammensetzung und Mikrostruktur auf die Lebensdauer von dünnen Schichten effektiv zu untersuchen und für die Entwicklung neuer ermüdungsfester Schichten zu nutzen.

我们不能把这些东西放在一起，也不能把它们放在一起，也不能把所有的东西都放在一起。我们在硅衬底上进行了100nmAusterenAl-Legierungen自动氧化处理，并对μm bis进行了检测。这是一项新的技术和技术研究，其主要目的是为了更好地利用硅片的结构和技术。Für das Wisenschaftliche Verständnis des Zusammenhangs zwitchen Zusammensetzung，Gefüge and Ermüdungsfestigkeit ist es notwendig，möglichst viele Schichten ermüden zu könnnen.他说：“这是一件非常重要的事情。”他说：“我不能接受军团的要求，因为他们的拳击手套是他们的拳击队员，所以他们的工作也很重要。这句话的意思是：我不知道你的意思是什么，我不知道你的意思是什么。这是一种新的研究方法(FIB/REM，TEM)。这句话的意思是：我不会让我的生活变得更美好，因为它不会影响我们的生活。