Einfluss der Legierungszusammensetzung und des Gefüges auf das Ermüdungsverhalten dünner substratgebundener Al Schichten

在德国，当德国人在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国。大祖sollen Schichten mit Dicken zwischen einigen 100 nm as ternären Al-Legierungen auderotem Si基板unsusutem。在德国，微型技术人员（Herstellungsmethoden）将在德国的Biegebalken生产硅片，而在德国的珠宝制造公司（legerungszusammensetzung）将在德国的Biegebalken生产，并在德国的ansatzbeschichtet生产。引用本文：<s:1> das wissenschaftliche Verständnis des zusammenhang zwischen Zusammensetzung, gef<s:1>和erm<e:1> dungsestikeit ist es not enddig, möglichst viele Schichten erm<e:1> den zu können。在特殊情况下，在特殊情况下，在特殊情况下，在特殊情况下，在特殊情况下，在特殊情况下评估。Die mit den zu untersuchenden Legierungen beschichteten sibalken werden mittels和Die Schädigungsentwicklung functions der Zyklenzahl和direct mittels optischer Verfahren verfolgt。[4] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]Die resultierende Schädigungsmorphologie der erm<e:1> deten Schichten soll mittels microskopischer method （FIB/REM， TEM）。[endnoterd] [endnoterd] [endnoterd] [endnoterf] [endnoterf] [endnoterf] [endnoterf] [endnoterf] [endnoterf] [endnoterf] [endnoterf] [endnoterf] [endnoterf]。]

Das wesentliche Ziel dieses Antrags ist es, den Einfluss von Legierungselementen auf das Ermüdungsverhalten von dünnen Metallschichten zu verstehen und darauf aufbauend eine gezielte Entwicklung neuer Dünnschicht-Legierungen mit deutlich verbesserten Ermüdungseigenschaften zu betreiben. Dazu sollen Schichten mit Dicken zwischen einigen μm bis hinunter zu wenigen 100 nm aus ternären Al-Legierungen auf oxidiertem Si Substrat untersucht werden. Dieses wird mittels mikrotechnischer Herstellungsmethoden zu vielen Biegebalken pro Wafer strukturiert und mit jeweils einer Legierungszusammensetzung pro Biegebalken durch einen kombinatorischen Ansatz beschichtet. Für das wissenschaftliche Verständnis des Zusammenhangs zwischen Zusammensetzung, Gefüge und Ermüdungsfestigkeit ist es notwendig, möglichst viele Schichten ermüden zu können. Daher kommt ein spezieller Versuchsaufbau zum Einsatz, der eine schnelle Lebensdauerevaluierung erlaubt. Die mit den zu untersuchenden Legierungen beschichteten Si-Balken werden mittels eines Piezoaktuators periodisch ausgelenkt und die Schädigungsentwicklung als Funktion der Zyklenzahl wird direkt mittels optischer Verfahren verfolgt. Da die Dehnungsamplitude in der (aufgebrachten) Schicht mit zunehmendem Abstand von der Balkeneinspannung abnimmt, kann für jeden Biegebalken ein vollständiges Wöhlerdiagramm ermittelt werden. Die resultierende Schädigungsmorphologie der ermüdeten Schichten soll mittels mikroskopischer Methoden (FIB/REM, TEM) charakterisiert werden. Damit wird es möglich den Einfluss von Schichtzusammensetzung und Mikrostruktur auf die Lebensdauer von dünnen Schichten effektiv zu untersuchen und für die Entwicklung neuer ermüdungsfester Schichten zu nutzen.