Opto-/taktile Multisensormesseinrichtung

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Die beantragte opto/taktile Multisensormesseinrichtung stellt ein zentrales Messgerät für den sich im Aufbau befindlichen Lehrstuhl für Messtechnik und Sensorik der TU Kaiserslautern dar. Eine opto/taktile Multisensormesseinrichtung steht weder am Fachbereich Maschinenbau und Verfahrens-technik noch an anderen Fachbereichen der Universität zur Verfügung. Das beantragte Messgerät ist speziell auf die Ausrichtung des Lehrstuhls abgestimmt. Insbesondere sind zwei interferometrische Weißlichtsensoren integriert: ein Weißlichtsensor mit Mirau Objektiv für die Mikroform- und Rauheitsmessung und ein faseroptischer Punktsensor für Formelemente im Nanometerbereich. Das Messgerät ist so konzipiert, dass problemlos weitere Sensoren integriert werden können und so das Messgerät auf neue Forschungsvorhaben flexibel angepasst werden kann. Insbesondere werden mit dem bean-tragten Gerät folgende Ziele verfolgt: - Qualifizierung neuer Sensoren im Submikrometerbereich- Schwingungskompensation beim Einsatz interferometrischer Sensorprinzipien- Bestimmung von Unsicherheitsbudgets bei der Schätzung von Formparametern- Kombinierte Rauheits- und Konturmessung.