Opto-/taktile Multisensormesseinrichtung

光电/触觉多传感器测量装置

• 批准号: 163602068
• 金额: --
• 依托单位: Rheinland-Pfälzische Technische Universität Kaiserslautern-Landau
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Research Instrumentation
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2008-12-31 至 无数据
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/163602068?language=en
• 关键词: Opto; taktile; Multisensormesseinrichtung

Die beantragte opto/taktile Multisensormesseinrichtung stellt ein zentrales Messgerät für den sich im Aufbau befindlichen Lehrstuhl für Messtechnik und Sensorik der TU Kaiserslautern dar. Eine opto/taktile Multisensormesseinrichtung steht weder am Fachbereich Maschinenbau und Verfahrens-technik noch an anderen Fachbereichen der Universität zur Verfügung. Das beantragte Messgerät ist speziell auf die Ausrichtung des Lehrstuhls abgestimmt. Insbesondere sind zwei interferometrische Weißlichtsensoren integriert: ein Weißlichtsensor mit Mirau Objektiv für die Mikroform- und Rauheitsmessung und ein faseroptischer Punktsensor für Formelemente im Nanometerbereich. Das Messgerät ist so konzipiert, dass problemlos weitere Sensoren integriert werden können und so das Messgerät auf neue Forschungsvorhaben flexibel angepasst werden kann. Insbesondere werden mit dem bean-tragten Gerät folgende Ziele verfolgt: - Qualifizierung neuer Sensoren im Submikrometerbereich- Schwingungskompensation beim Einsatz interferometrischer Sensorprinzipien- Bestimmung von Unsicherheitsbudgets bei der Schätzung von Formparametern- Kombinierte Rauheits- und Konturmessung.

这是一种多传感器/多传感器和多传感器相结合的方法。这是一种多传感器/多传感器的技术和方法。这是一件很重要的事情。Insbeondere sind zwei干涉仪传感器：Ein魏？许可证传感器MIT Mirau Objektiv für die Mikroform-and Rauheitsmessung and ein Faseroptischer Punkt传感器für Formelemente im Nanometerbereich.这是一个非常重要的问题，也是一个非常重要的问题。在这一点上，我们可以从以下几个方面了解到：-Qualifizierung Neuer Sensoren im Submikrometerbereich-Schwingungskomensation bem ein einsat z Insat Rischer Sensorprint zipien-Bstistimung von Unsicherheits Be Be der Schätzzung von Form参数n-Kombinierte Rauheits-and KonMessturturung。

项目成果

Uncertainty of height information in coherence scanning interferometry

相干扫描干涉测量中高度信息的不确定性

• DOI: 10.1117/12.889796
• 发表时间: 2011
• 作者: J. Seewig;T. Böttner;D. Broschart
• 通讯作者: D. Broschart