Taktile Sensoren für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnik

Ziel der Forschungsarbeiten is es，neue Konzepte und Technologien für die Verzklichung eines mikromechanischen，dreidimensional messenden Mikrotasters zu entwickeln. Als Grundlage und Ausgangspunkt für die Forschungen，dient ein am Institut für Mikrotechnik der TU布伦瑞克erfolgreich entwickelter Prototype.通过理论和实验的帮助，我们可以解决新的几何计算韦尔登。Als Material soll zunächst Silizium zum Einquirkommen. Der Einquiry von alternativen Materialien soll geprüft und entsprechende Designs abgeleitet韦尔登.必须对这些问题进行分析，并开始进行韦尔登。Die gefertigten Prototypen sollen mit Hilfe eines am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik neu zu zu entwickelnden Präzisions-Kraft-Weg-Test systems untersucht und kalibriert韦尔登. Weitere Forschungsziele sind Untersuchungen zu Verbindungtechnologien und der Miniaturisierung des Tastelements.

Ziel der Forschungsarbeiten ist es, neue Konzepte und Technologien für die Verwirklichung eines mikromechanischen, dreidimensional messenden Mikrotasters zu entwickeln. Als Grundlage und Ausgangspunkt für die Forschungen, dient ein am Institut für Mikrotechnik der TU Braunschweig erfolgreich entwickelter Prototyp. Mit Hilfe von theoretischen und experimentellen Untersuchungen sollen neue Verformungskörpergeometrien entwickelt werden. Als Material soll zunächst Silizium zum Einsatz kommen. Der Einsatz von alternativen Materialien soll geprüft und entsprechende Designs abgeleitet werden. Die daraus folgenden fertigungstechnischen Problemstellungen müssen analysiert und entsprechende Fertigungsprozesse entwickelt und umgesetzt werden. Die gefertigten Prototypen sollen mit Hilfe eines am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik neu zu entwickelnden Präzisions-Kraft-Weg-Test systems untersucht und kalibriert werden. Weitere Forschungsziele sind Untersuchungen zu Verbindungstechnologien und der Miniaturisierung des Tastelements.