Taktile Sensoren für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnik

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Ziel der Forschungsarbeiten ist es, neue Konzepte und Technologien für die Verwirklichung eines mikromechanischen, dreidimensional messenden Mikrotasters zu entwickeln. Als Grundlage und Ausgangspunkt für die Forschungen, dient ein am Institut für Mikrotechnik der TU Braunschweig erfolgreich entwickelter Prototyp. Mit Hilfe von theoretischen und experimentellen Untersuchungen sollen neue Verformungskörpergeometrien entwickelt werden. Als Material soll zunächst Silizium zum Einsatz kommen. Der Einsatz von alternativen Materialien soll geprüft und entsprechende Designs abgeleitet werden. Die daraus folgenden fertigungstechnischen Problemstellungen müssen analysiert und entsprechende Fertigungsprozesse entwickelt und umgesetzt werden. Die gefertigten Prototypen sollen mit Hilfe eines am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik neu zu entwickelnden Präzisions-Kraft-Weg-Test systems untersucht und kalibriert werden. Weitere Forschungsziele sind Untersuchungen zu Verbindungstechnologien und der Miniaturisierung des Tastelements.