Parallelisierte taktile Messtechnik für Mikrostrukturen

在制造过程中，所有的几何图形都被放在书房里，这是一件非常重要的事情。绝地武士的名字是维尼格人的名字，是他的名字，他的名字叫Ergänzung zu diesen dar。我为自己的未来感到欣慰，因为这是一件很重要的事情，因为它是一件非常重要的事情。Für die geometrische Erfassung von Mikrostrukturen is derzeit hingegen fast auschlie？lich Optische Verfahren eingesetzt.他说：“我不知道该怎么做，我也不知道该怎么做，我也不知道该怎么做，但我不能这么做。”我是Vorhabens Sollen Daher die Vorossetzungen geschaffen，die einen effizienten einsatz de taktilen gerischen Messtechnik auf dem gebiet der fertiwargsnaben Messung von Mikrostrukturen ermöglichen。这是一种并行不悖的现象，因为它是一种新的技术。在安格斯泰勒的基础上，我们可以找到一种新的方法。这是一项非常重要的工作，也是一项重要的工作。这是一种新的信息系统，它是一种新的信息系统，它提供了更多的信息。从方程式到方程式，再到设计方程式，再加上米克罗斯特鲁克伦的设计。

In der makroskopischen geometrischen Messtechnik werden in den letzten Jahren zusätzlich zu den etablierten taktilen Messverfahren zunehmend auch optische Messtechiken eingesetzt. Jedoch stellen diese weniger einen Ersatz für die taktilen Verfahren, als vielmehr eine sinnvolle Ergänzung zu diesen dar. Aufgrund der individuellen Vorteile der jeweiligen Messprinzipien konnte so im makroskopischen Bereich die Bandbreite der zu erfassenden Strukturen deutlich erweitert werden. Für die geometrische Erfassung von Mikrostrukturen werden derzeit hingegen fast ausschließlich optische Verfahren eingesetzt. Dies ist jedoch nicht darauf zurückzuführen, dass diese den klassischen taktilen Verfahren grundsätzlich überlegen wären, als vielmehr auf den Umstand, dass die taktilen Messverfahren bislang nicht hinreichend an die besonderen Erfordernisse der Mikromesstechnik angepasst werden konnten. Im Rahmen des beantragten Vorhabens sollen daher die Voraussetzungen geschaffen werden, die einen effizienten Einsatz der taktilen geometrischen Messtechnik auf dem Gebiet der fertigungsnaben Messung von Mikrostrukturen ermöglichen. Ein zentrales Ziel ist dabei die Parallelisierung der taktilen Antastung durch den Einsatz von Mikrotaster-Arrays. Geeignete Einzeltaster wurden am Institut eines der Antragsteller bereits irn Rahmen vorangegangener Arbeiten entwickelt. Für die parallele Antastung zahlreicher, auf einem gemeinsamen Trägersubstrat befindlicher Strukturen sind geeignete Antaststrategien zu erarbeiten, die zunächst anhand von Simulationsrechnungen evaluiert werden sollen. Neben Arbeiten zur Kalibrierung eines derartigen Messsystems sind ferner Untersuchungen zum fertigungsgerechten Einsatz parallelisierter taktiler Koordinatenmessgeräte vorgesehen. Dies beinhaltet sowohl die Formulierung von Messstrategien, als auch die Erarbeitung von Maßgaben für ein prüfgerechtes Design von Mikrostrukturen.