Parallelisierte taktile Messtechnik für Mikrostrukturen

在宏观几何测量技术中，韦尔登在最近几年里被用来测量光学测量。Jedoch stellen diese weniger einen Ergumfür die taktilen Verfahren，als vielmehr eine sinnvolle Ergänzung zu diesen.通过对珠宝首饰的个性化定制，使珠宝首饰的外观更加美观，从而使其具有韦尔登的结构。对于微结构韦尔登的几何误差，可以快速获得光学误差。这并不意味着它是一个非常复杂的过程，因为这些经典的操作系统非常复杂，在我们的世界中，操作系统并不能够帮助我们更好地理解微韦尔登技术的原理。作为一种先进的测量设备，我们必须对韦尔登进行测量，并在微型结构的测量区域上进行一次几何测量。Ein zentrales Ziel是通过Mikrotaster-Arrays的Einsatz实现的并行化Antastung。在一个戏剧学院里，一个演员的名字被认为是一个劳动者的名字。对于平行的Antastung zahlreicher，auf einem gemeinsamen Trägersubstrat befindlicher Strukturen sind geeignete Antaststrategien zu erarbeiten，die zunächst anhand von Simulationsrechnungen evaluiert韦尔登sollen。Neben Arbeiten zur Kalibrierung eines derartigen Messsystems sind ferner Untersuchungen zum fertigungsgerechten Einquilitarisierter taktiler Koordinatenmessgeräte vorgesehen. Dies beinhaltet sowohl die Formulierung von Messstrategien，als auch die Erarbeitung von Maßgaben für ein prüfgerechtes Design von Mikrostrukturen.

In der makroskopischen geometrischen Messtechnik werden in den letzten Jahren zusätzlich zu den etablierten taktilen Messverfahren zunehmend auch optische Messtechiken eingesetzt. Jedoch stellen diese weniger einen Ersatz für die taktilen Verfahren, als vielmehr eine sinnvolle Ergänzung zu diesen dar. Aufgrund der individuellen Vorteile der jeweiligen Messprinzipien konnte so im makroskopischen Bereich die Bandbreite der zu erfassenden Strukturen deutlich erweitert werden. Für die geometrische Erfassung von Mikrostrukturen werden derzeit hingegen fast ausschließlich optische Verfahren eingesetzt. Dies ist jedoch nicht darauf zurückzuführen, dass diese den klassischen taktilen Verfahren grundsätzlich überlegen wären, als vielmehr auf den Umstand, dass die taktilen Messverfahren bislang nicht hinreichend an die besonderen Erfordernisse der Mikromesstechnik angepasst werden konnten. Im Rahmen des beantragten Vorhabens sollen daher die Voraussetzungen geschaffen werden, die einen effizienten Einsatz der taktilen geometrischen Messtechnik auf dem Gebiet der fertigungsnaben Messung von Mikrostrukturen ermöglichen. Ein zentrales Ziel ist dabei die Parallelisierung der taktilen Antastung durch den Einsatz von Mikrotaster-Arrays. Geeignete Einzeltaster wurden am Institut eines der Antragsteller bereits irn Rahmen vorangegangener Arbeiten entwickelt. Für die parallele Antastung zahlreicher, auf einem gemeinsamen Trägersubstrat befindlicher Strukturen sind geeignete Antaststrategien zu erarbeiten, die zunächst anhand von Simulationsrechnungen evaluiert werden sollen. Neben Arbeiten zur Kalibrierung eines derartigen Messsystems sind ferner Untersuchungen zum fertigungsgerechten Einsatz parallelisierter taktiler Koordinatenmessgeräte vorgesehen. Dies beinhaltet sowohl die Formulierung von Messstrategien, als auch die Erarbeitung von Maßgaben für ein prüfgerechtes Design von Mikrostrukturen.