Parallelisierte taktile Messtechnik für Mikrostrukturen

微结构并行触觉测量技术

• 批准号: 5436757
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Rainer Tutsch
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Produktionsmesstechnik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2004
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2003-12-31 至 2006-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5436757?language=en
• 关键词: Parallelisierte; taktile; Messtechnik; Mikrostrukturen

In der makroskopischen geometrischen Messtechnik werden in den letzten Jahren zusätzlich zu den etablierten taktilen Messverfahren zunehmend auch optische Messtechiken eingesetzt. Jedoch stellen diese weniger einen Ersatz für die taktilen Verfahren, als vielmehr eine sinnvolle Ergänzung zu diesen dar. Aufgrund der individuellen Vorteile der jeweiligen Messprinzipien konnte so im makroskopischen Bereich die Bandbreite der zu erfassenden Strukturen deutlich erweitert werden. Für die geometrische Erfassung von Mikrostrukturen werden derzeit hingegen fast ausschließlich optische Verfahren eingesetzt. Dies ist jedoch nicht darauf zurückzuführen, dass diese den klassischen taktilen Verfahren grundsätzlich überlegen wären, als vielmehr auf den Umstand, dass die taktilen Messverfahren bislang nicht hinreichend an die besonderen Erfordernisse der Mikromesstechnik angepasst werden konnten. Im Rahmen des beantragten Vorhabens sollen daher die Voraussetzungen geschaffen werden, die einen effizienten Einsatz der taktilen geometrischen Messtechnik auf dem Gebiet der fertigungsnaben Messung von Mikrostrukturen ermöglichen. Ein zentrales Ziel ist dabei die Parallelisierung der taktilen Antastung durch den Einsatz von Mikrotaster-Arrays. Geeignete Einzeltaster wurden am Institut eines der Antragsteller bereits irn Rahmen vorangegangener Arbeiten entwickelt. Für die parallele Antastung zahlreicher, auf einem gemeinsamen Trägersubstrat befindlicher Strukturen sind geeignete Antaststrategien zu erarbeiten, die zunächst anhand von Simulationsrechnungen evaluiert werden sollen. Neben Arbeiten zur Kalibrierung eines derartigen Messsystems sind ferner Untersuchungen zum fertigungsgerechten Einsatz parallelisierter taktiler Koordinatenmessgeräte vorgesehen. Dies beinhaltet sowohl die Formulierung von Messstrategien, als auch die Erarbeitung von Maßgaben für ein prüfgerechtes Design von Mikrostrukturen.

In der makroskopischen geometrischen Messtechnik werden在den letzten Jahren zusätzlich zu den tablierten taktilen messverfaren zunehmendauch optische Messtechiken eingesetzt。Jedoch stedese weniger einen Ersatz f<e:1> r die taktilen Verfahren，也vielmehr eine sinvolle Ergänzung zu diesen dar。在德国，人们对珠宝首饰的需求越来越大，而在德国，人们对珠宝首饰的需求越来越大。[3] [1] [1] [3] [3] [3] [3] [3] [3] [3] [4]Dies ist jedoch nicht darauf zurckzuf<e:1> hren, dass diese den klassischen taktilen Verfahren grundsätzlich berlegen wären, als vieelmehr auf den Umstand， dass die taktilen Messverfahren bislang nicht hinreichend and die besonderen Erfordernisse der micromesstechnik angep助理werden konten。1 .我的研究对象是：1 .我的研究对象是：1 .我的研究对象是：1 .我的研究对象是：1 .我的研究对象是：1 .我的研究对象是：1 .我的研究对象是：1 .我的研究对象是：1 .我的研究对象是：1 .我的研究对象是：1 .我的研究对象是：1 .我的研究对象是：在中央情报中心的研究中，并行分析是一种有效的方法。德国科学与技术研究所，德国科学与技术研究所，德国科学与技术研究所。本文介绍了<s:1>平行模态分析（平行模态分析）、平行模态分析（平行模态分析）、平行模态分析（平行模态分析）、平行模态分析（平行模态分析）、平行模态分析（平行模态分析）、平行模态分析（平行模态分析）、平行模态分析（平行模态分析）。[1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]die beinhaltet sowohl die formululerung von Messstrategien, also auch die Erarbeitung von Maßgaben fr in prefgerechtes Design von microstrukturen。