Größeneffektmodellierung mit der Strain-Gradient-Theorie und Bestimmung innerer Längenparameter in Silizium mittels Ramanspektroskopie

利用应变梯度理论进行尺寸效应建模并利用拉曼光谱测定硅中的内部长度参数

基本信息

批准号：
211669585
负责人：
Professor Dr. Wolfgang H. Müller
金额：
--
依托单位：
Fachgebiet Kontinuumsmechanik und Materialtheorie
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2012
资助国家：
德国
起止时间：
2011-12-31 至 2014-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/211669585?language=en
关键词：
Gr eneffektmodellierung mit der Strain

项目摘要

Die Erfassung des Größeneffektes von Mikrostrukturen, welcher anschaulich gesprochen für ein elastisch steiferes Materialverhalten auf der Mikroskala steht, ist für die Auslegung mikro-elektromechanischer Systeme (MEMS) von Bedeutung. Im beantragten Forschungsvorhaben soll über das klassische Boltzmannkontinuum hinaus mit verschiedenen Theorien höherer Ordnung gearbeitet werden, die in der Lage sind, den Größeneffekt von Mikrostrukturen abzubilden. Aussagen über das elastische Materialverhalten nach verschiedenen theoretischen Ansätzen lassen sich über die Mikro-Ramanspektroskopie mit ihrer Möglichkeit zur Untersuchung lokaler Spannungen und Dehnungen überprüfen. Zurückgegriffen wird dabei speziell auf die Momentenspannungs- (Couple Stress-) Theorie und die Strain-Gradient-Theorie der linearen Elastizität. Für die darin enthaltenen höheren Gradientenkoeffizienten existieren bislang keine zuverlässigen Zahlenwerte. Zu ihrer Bestimmung soll exemplarisch für Silizium (für ein- sowie polykristallines Silizium), ein in der Mikrosystemtechnik weit verbreitetes, ramanaktives Material, eine Miniaturbalkenbiegung verbunden mit ramanspektroskopischer Auswertung durchgeführt werden. Mit den auf experimentellem Wege erhaltenen Aussagen über die herrschenden Verzerrungen und Verschiebungen sollen die verschiedenen Theorien höherer Ordnung ausgewertet und ein Weg zur Quantifizierung der inneren Längenparameter von Materialien aufgezeigt werden.

Die ErfassungdesGrößeneffektesVon Mikrostrukturen，Welcher AnschaulichGesprochenfürEin Ein Elastisch Steiferes seferes seiferes auf der mikroskala steht Im beantragten forschungsvorbensollüberdasklassische boltzmannkonnkontinuum hinaus hinaus mit verschiedenentheorienhöhererHöhererOrdnunggearbeitet werden，死于der lage sind中，材料verhallenges也包括在材料中，也包括在材料中。透明的和未表演的是唯一死亡的人。揭露的人是世界上唯一死亡的人。揭露的人是世界上唯一死亡的人。揭露的人是世界上唯一死亡的人。揭露对世界是最具创新性和重要性的。揭露对世界是最具创新性和重要性的。该公司也以其自身的行动而闻名，目前正在提供广泛的服务，包括Silizium，这是Silizium的最常见来源。 Silizium的材料是世界上第一个发行的物质。实验服务是基于西部澳大利亚西部的努力，这是世界上专业知识的来源，美国一直在努力理解西部澳大利亚西部的需求，这是一种专业知识的来源。