Größeneffektmodellierung mit der Strain-Gradient-Theorie und Bestimmung innerer Längenparameter in Silizium mittels Ramanspektroskopie

Die Erfassung des Größeneffektes von Mikroskualen，welcher anschaulich gesprochen für ein elastisch steiferes Materialverhalten auf der Mikroskala steht，ist für die Auslegung mikro-elektromechanischer Systeme（MEMS）von Bedeutung.在研究经典玻尔兹曼连续体的过程中，我们发现，在拉格理论中，经典玻尔兹曼连续体的最高顺序是韦尔登。在理论上验证了弹性材料的稳定性后，Ansätzen将其用于Mikro-Ramanspektroskopie，其Möglichkeit用于测量局部Spannungen和Dehnungen。在线性弹性力学中，偶应力理论和应变梯度理论是一个重要的理论基础。Für die darin tenen höheren hentenkoeffizienten bislang keine zuverlässigen Zahlenwerte. Zu ihrer Bestimmung soll exemplarch für Silizium（für ein- sowie polykristallines Silizium），ein in der Mikrosystemtechnik weit verbreitites，ramanaktives Material，eine Miniaturbalkenbiegung verbunden mit ramanspektroskopischer Auswertung durchgeführt韦尔登.在实验过程中，我们发现了一些非常重要的检验和检验问题，这些问题都是通过检验理论的最高有序性和一条量化韦尔登内部Längenparameters的途径来解决的。

Die Erfassung des Größeneffektes von Mikrostrukturen, welcher anschaulich gesprochen für ein elastisch steiferes Materialverhalten auf der Mikroskala steht, ist für die Auslegung mikro-elektromechanischer Systeme (MEMS) von Bedeutung. Im beantragten Forschungsvorhaben soll über das klassische Boltzmannkontinuum hinaus mit verschiedenen Theorien höherer Ordnung gearbeitet werden, die in der Lage sind, den Größeneffekt von Mikrostrukturen abzubilden. Aussagen über das elastische Materialverhalten nach verschiedenen theoretischen Ansätzen lassen sich über die Mikro-Ramanspektroskopie mit ihrer Möglichkeit zur Untersuchung lokaler Spannungen und Dehnungen überprüfen. Zurückgegriffen wird dabei speziell auf die Momentenspannungs- (Couple Stress-) Theorie und die Strain-Gradient-Theorie der linearen Elastizität. Für die darin enthaltenen höheren Gradientenkoeffizienten existieren bislang keine zuverlässigen Zahlenwerte. Zu ihrer Bestimmung soll exemplarisch für Silizium (für ein- sowie polykristallines Silizium), ein in der Mikrosystemtechnik weit verbreitetes, ramanaktives Material, eine Miniaturbalkenbiegung verbunden mit ramanspektroskopischer Auswertung durchgeführt werden. Mit den auf experimentellem Wege erhaltenen Aussagen über die herrschenden Verzerrungen und Verschiebungen sollen die verschiedenen Theorien höherer Ordnung ausgewertet und ein Weg zur Quantifizierung der inneren Längenparameter von Materialien aufgezeigt werden.