Focused Ion Beam - Scanning Electron Microscope (FIB-SEM)

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„Das beantragte Großgerät wird in den folgenden drei Gebieten eingesetzt werden: Zum einen wird es als Präparationsgerät für die Herstellung von TEM-Lamellen für das bereits vorhandene TEM am Institut für Oberflächen- und Dünnschichttechnik (IfOD) dienen. Durch Zielpräparation wird es möglich, die Grenzflächenphänomene in der Abscheidung von Schichten auf verschiedenen Substraten und zwischen verschiedenen Schichtsystemen zu erforschen. Nur über die Investition in ein Ionenstrahlsystem, wie das hier beantragte FIB, werden die Anforderungen an eine hinreichende Präparationsmöglichkeit für TEM Untersuchungen an Grenzflächen erfüllt. Durch das FIB sind wir darüber hinaus in der Lage, dreidimensionale Strukturen aus diamantartigen Kohlenstoffschichten (DLC) unterschiedlicher Gestalt im Nano- und Mikromaßstab herzustellen, deren Funktionalität für verschiedene Anwendungen in der Sensorik und Medizintechnik von Bedeutung ist, etwa für nanoskalige Sensoroberflächen. Außerdem wird das FIB mit seinen Analysemöglichkeiten (REM, STEM und EDX) als analytisches Werkzeug durch die Nutzung der Elektronenabbildung (REM) und die Energie-dispersive Röntgenanalyse (EDX) genutzt. Wir sind sicher, dass das hier beantragte FIB-System die analytische Basis des IfOD auf ein völlig neues Niveau heben wird, welches sich schon kurzfristig durch die gesteigerte Qualität der Forschungs- und Entwicklungsergebnisse in den einzelnen Projekten amortisieren wird.“