Untersuchung der zeitlichen Entwicklung der Entladung bei der gepulsten Magnetronzerstäubung

脉冲磁控溅射放电随时间发展的研究

• 批准号: 21809139
• 负责人: Dr. Thomas Welzel
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Physik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2005-12-31 至 2008-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/21809139?language=en
• 关键词: Untersuchung; der; zeitlichen; Entwicklung; Entladung

Bisherige Untersuchungen haben ergeben, dass Ladungsträgerdichte und Elektronentemperatur bei gepulsten Magnetronprozessen markante Zeitverläufe n(t) und Te(t) aufweisen. Diese sind aus der zeitlichen Entwicklung von Entladungsstrom und -spannung heraus nicht zu verstehen, sondern vielmehr Ausdruck komplexer Übergangssprozesse (¿transiente Zustände¿) der Entladung beim Zünden und beim Verlöschen des Plasmas. Diese werden bisher kaum verstanden, haben aber andererseits deutlichen Einfluss auf die Schichtbildung. Daher ist das geringe physikalische Verständnis dieser Prozesse als Ursache dafür anzusehen, dass es bisher kaum gelungen ist, das enorme Anwendungspotenzial gepulster Magnetronprozesse für die definierte Herstellung von Funktionsschichten mit gewünschter Struktur und Eigenschaften gezielt zu nutzen. Im Projekt sollen diese transienten Phänomene mit zeitaufgelösten plasmadiagnostischen Methoden genauer untersucht werden. Durch den Einsatz verschiedener elektrischer Sonden und der optischen Emissionsspektroskopie soll ihre Abhängigkeit von vorgebbaren Entladungsparametern aufgeklärt und ein Modell der Dynamik der gepulsten Magnetronentladung entwickelt werden.

测量结果表明，在最佳磁控管工艺条件下，电流密度和电子温度显著降低，电流密度和电子温度显著降低。这是由于Entladungsstrom和spannung heraus的时代发展不足以理解，因此，在Zünden和Verlöschen des Plasmas之间的Entladung的复杂过程（瞬变流）非常多。这些韦尔登更了解德国，但他们对犹太人的教育也有影响。Daher ist das geringe physikalische Verständnis dieser Prozesse als Ursache dafür anzusehen，dass es bisher kaum gelungen ist，das Anwendungspotenzial gepulster Magnetronprozesse für die definierte Herstellung von Funktionsschichten mit gewünschter Struktur und Eigenschaften gezielt zu nutzen. Im Projekt sollen diese transienten Phänomene with zeitaufgelösten plasmadiagnosischen Methoden genauer untersucht韦尔登.在此基础上，提出了一种新的电探测器和光学发射光谱的设计方法，该方法具有较高的电磁感应参数和一种韦尔登的动力学模型。