Focused Ion Beam-Modul

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„Das seit 2010 im Betrieb befindliche Rasterelektronenmikroskop (REM) der Hochschule Osnabrück soll mit dem beantragten FIB-Modul aufgerüstet werden. Die REM/FIB-Betriebseinheit soll als campusweit zugängliche zentrale Einrichtung von Universität Osnabrück und Hochschule Osnabrück gemeinsam betrieben werden. Die REM/FIB-Betriebseinheit soll einer interdisziplinären Nutzerschaft folgende neue Funktionalitäten zur Verfügung stellen: i) Schneiden und Polieren von Oberflächen verbunden mit Weitfeld-Bildgebung mittels verschiedener Detektoren, ii) Anfertigen von tomographischen Serienschnitten und von Bildserien der tomographischen Serienschnitte mittels verschiedener Detektoren verbunden mit dreidimensionaler Struktur- Rekonstruktion, iii) gezieltes Anfertigen elektronentransparenter Dünnschnitte aus ausgesuchten Probenbereichen für Transmissionselektronenmikroskopie, iv) lithographische und topographische Strukturierung von Proben sowie v) lithographische Metallabscheidung einschließlich der leitfähigen Kontaktierung von Nanostrukturen und Verbinden oder Fixieren von Nanostrukturen durch Löten. Die REM/FIB-Betriebseinheit stärkt vorhandene und in Aufbau befindliche Forschungsschwerpunkte an der Universität Osnabrück in Biologie, Physik und Chemie neuer Materialien sowie an der Hochschule Osnabrück in den Werkstoffwissenschaften. Durch die Kombination des beantragten FIB-Moduls mit dem Bestands-REM werden erhebliche Synergieeffekte hinsichtlich der Funktionalität beider Komponenten sowie hinsichtlich der Einrichtungs- und Folgekosten genutzt.“