Automatisierung der Messabläufe einer Nanometer-Koordinaten-Messmaschine mit rasterkraftmikroskopischer Antastung
原子力显微扫描纳米坐标测量机测量过程的自动化
基本信息
- 批准号:28525894
- 负责人:
- 金额:--
- 依托单位:
- 依托单位国家:德国
- 项目类别:Research Grants
- 财政年份:2006
- 资助国家:德国
- 起止时间:2005-12-31 至 2010-12-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
Koordinatenmessmaschinen für den Mikromaschinenbau kann man durch Kombination geeigneter Nanopositioniersysteme mit Nano-Tastem darstellen. Die Anwendbarkeit der Koordinatenmesstechnik im Nanometerbereich erfordert Forschungsanstrengungen grundlegender Art. Zur Durchführung dieser Grundlagenforschung ist die Entwicklung eines geeigneten Werkzeugs notwendig. Mit der Nanometer- Koordinatenmessmaschine befindet sich ein derartiges Instrument in der Entwicklung. Ihre Funktionsfähigkeit wurde in einem frühen Entwicklungsstadium bereits nachgewiesen. Mit der Nanometer-Koordinatenmessmaschine können gleichzeitig dimensionelle und topografische Größen ermittelt werden. Wegen der Komplexität großflächiger AFM-Messungen bei Mikrosystemen und Nanostrukturen sind sowohl automatisierte Messabläufe, als auch automatisierte Artefakteliminationen und Kalibrierungen unumgänglich. Es muss eine Methodik entwickelt werden, die identifizieren kann, welche Bereiche einer Probe taster- und werkstoffspezifisch zu analysieren sind. Darauf aufbauend ist ein Algorithmus zu entwickeln, der die Reihenfolge der Einzelmessungen gemäß maschinentypischer Kenngrößen der Nanometer-Koordinaten- Messmaschine festlegt. Antast- und Messstrategien müssen taster- und werkstoffspezifisch entwickelt werden, wobei die Messdatenvolumina/Messzeiten minimiert werden sollen. Weiterhin müssen Algorithmen zur Aufteilung der Messdaten in dimensionelle und topografische erarbeitet werden.
协同工程机械制造技术[j], [j], [j], [j]。纳米协调技术的研究与应用:机械加工与强化磨削工艺。[3] [6] [6] [6] [6] [6] [6] [6] [6]麻省理工学院(Mit)的纳米坐标信息机是由德国恩特威克伦的衍射仪组成的。Ihre Funktionsfähigkeit wurde in einem fr<s:1> hen Entwicklungsstadium bereits nachgewiesen。麻省理工学院纳米协调机械können gleichzetitig尺寸和拓扑Größen许可。Wegen der Komplexität großflächiger AFM-Messungen bei microsystemen和nanostructuren和sohlautomatisierte Messabläufe,也包括automatisierte artefakeliminationen和calibrierungen unumgänglich。他提出了一种新的方法,即对样品进行检测,对样品进行鉴定,对样品进行检测,并对样品进行分析。Darauf aufbauend ist in Algorithmus zu entwickeln, der die Reihenfolge der Einzelmessungen gemäß maschinentypischer Kenngrößen der纳米-协调- Messmaschine festlegt。(1) Messdatenvolumina/Messzeiten minimiert werden sollen (1) Messdatenvolumina (1) Messzeiten minimiert werden sollen (2) Messdatenvolumina (3) Messzeiten minimiert werden sollen。基于维数和拓扑结构的信息分析方法。
项目成果
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