Aufdampfanlage zur Herstellung von Beschichtungen mit Dicken im Nanometerbereich

用于生产厚度在纳米范围内的涂层的气相沉积系统

• 批准号: 287300971
• 金额: --
• 依托单位: Technische Universität Dortmund
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Research Instrumentation
• 财政年份: 2015
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2014-12-31 至 无数据
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/287300971?language=en
• 关键词: Aufdampfanlage; zur; Herstellung; von; Beschichtungen

Mit dem Antrag soll eine Aufdampfanlage für die Fakultät Physik der TU Dortmund beschafft werden. Die projektübergreifende Anforderung an die Anlage ist, Beschichtungen mit einer kontrollierten Dicke bis hinab zu wenigen Nanometern Dicke herstellen zu können, entweder über thermisches Verdampfen oder über Elektronenstrahlverdampfen oder über Sputtern. Dabei soll es sich beispielsweise um optische Reflexions- bzw. Antireflexionsschichten oder um elektrische Kontakte handeln. Bei der Herstellung der Schichten sollen viele unterschiedliche Materialien miteinander kombinierbar sein. Die Anlage wird eine wesentliche infrastrukturelle Grundlage insbesondere für zwei Sonderforschungsbereiche (TRR 142 und TRR 160)darstellen.

麻省理工学院，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国。研究方向：<s:1>纳米材料与电子材料工程技术研究所，纳米材料与电子材料研究所，纳米材料与电子材料研究所，纳米材料与电子材料研究所，纳米材料与电子材料研究所，纳米材料与电子材料研究所，纳米材料与电子材料研究所，纳米材料与电子材料研究所。Dabei solsols是一种非常聪明的光学反射- bzw。反反身性：一种反反身性，一种反反身性。材料科学与材料科学的结合与发展。Die Anlage wind and the western licliche infrastruckturelle Grundlage insbesonere f<e:1> （trr142和trr160）。