Aufdampfanlage zur Herstellung von Beschichtungen mit Dicken im Nanometerbereich

点击翻译按钮获取中文摘要

Mit dem Antrag soll eine Aufdampfanlage für die Fakultät Physik der TU Dortmund beschafft werden. Die projektübergreifende Anforderung an die Anlage ist, Beschichtungen mit einer kontrollierten Dicke bis hinab zu wenigen Nanometern Dicke herstellen zu können, entweder über thermisches Verdampfen oder über Elektronenstrahlverdampfen oder über Sputtern. Dabei soll es sich beispielsweise um optische Reflexions- bzw. Antireflexionsschichten oder um elektrische Kontakte handeln. Bei der Herstellung der Schichten sollen viele unterschiedliche Materialien miteinander kombinierbar sein. Die Anlage wird eine wesentliche infrastrukturelle Grundlage insbesondere für zwei Sonderforschungsbereiche (TRR 142 und TRR 160)darstellen.