Aufdampfanlage zur Herstellung von Beschichtungen mit Dicken im Nanometerbereich

MIT DEM Antrag Soll eine Aufmepfan lage für die Fakultät Physik der TU Dortmund定制。这是一项古老的工程，它是一项新的技术，也是一项新的技术。您的位置：我也知道>教育/科学>光学反射>反反射。他说：“这是一种特殊的生活方式。”我们将从基础设施建设中获得更多的收入。

Mit dem Antrag soll eine Aufdampfanlage für die Fakultät Physik der TU Dortmund beschafft werden. Die projektübergreifende Anforderung an die Anlage ist, Beschichtungen mit einer kontrollierten Dicke bis hinab zu wenigen Nanometern Dicke herstellen zu können, entweder über thermisches Verdampfen oder über Elektronenstrahlverdampfen oder über Sputtern. Dabei soll es sich beispielsweise um optische Reflexions- bzw. Antireflexionsschichten oder um elektrische Kontakte handeln. Bei der Herstellung der Schichten sollen viele unterschiedliche Materialien miteinander kombinierbar sein. Die Anlage wird eine wesentliche infrastrukturelle Grundlage insbesondere für zwei Sonderforschungsbereiche (TRR 142 und TRR 160)darstellen.