Aufdampfanlage zur Herstellung von Beschichtungen mit Dicken im Nanometerbereich

但安特拉克只是为多特蒙德大学的物理学研究提供了一个补充，这让韦尔登大学的物理学研究变得更加困难。该项目的主要目标是，利用一个控制迪凯和一个纳米迪凯，使其进入热阻尼或电子阻尼或火花。大北是一个光反射的地方。Antireflexionsschichten or der um elektrische Kontakte handeln.在这片土地上，有许多不寻常的材料可以混合使用。Die Anlage wird eine wesentliche infrastrukturelle Grundlage insbesondere für zwei Sonderforschungsbereiche（TRR 142 und TRR 160）darstellen.

Mit dem Antrag soll eine Aufdampfanlage für die Fakultät Physik der TU Dortmund beschafft werden. Die projektübergreifende Anforderung an die Anlage ist, Beschichtungen mit einer kontrollierten Dicke bis hinab zu wenigen Nanometern Dicke herstellen zu können, entweder über thermisches Verdampfen oder über Elektronenstrahlverdampfen oder über Sputtern. Dabei soll es sich beispielsweise um optische Reflexions- bzw. Antireflexionsschichten oder um elektrische Kontakte handeln. Bei der Herstellung der Schichten sollen viele unterschiedliche Materialien miteinander kombinierbar sein. Die Anlage wird eine wesentliche infrastrukturelle Grundlage insbesondere für zwei Sonderforschungsbereiche (TRR 142 und TRR 160)darstellen.