Ionenätzanlage zur Herstellung von Schnittpräparaten für die Elektronenmikroskopie

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Die analytische Fragestellungen in der Elektronenmikroskopie beziehen sich erfahrungsgemäß in gut der Hälfte der Fälle auf eine Informationsgewinnung aus dem Tiefenprofil der Probe. Daher muss eine adäquate Präparationsmethode gewählt werden, die ein ungestörtes, also Artefakt freies Profil erstellt. Für Proben, die nicht über ein großes Flächensegment homogen sind, lässt sich nur durch gezieltes Präparieren die gewünschte Profilstelle darstellen. Dabei kann nur durch Einsatz von lonenstrahl-Ätzen ein ungestörtes Profil erstellt werden. Dies gilt insbesondere dann, wenn Proben präpariert werden sollen, die durch ihre Kombination von Materialien sehr unterschiedlicher Natur, z. B. unterschiedlicher Härte, Sprödheit und Elastizität, eine Präparation durch klassisches Zielschleifen und mehrstufiges Polieren, nicht anwendbar machen.“