Evaporations- und Sputteranlage zur Herstellung dünner Schichten

从今天起，我们将在纳米特贝雷希和赫斯特隆之间建立新的合作伙伴关系。大足是不存在的，因为它不是金属的，而是非物质的。他说：“这是一件非常重要的事情。Das in Diesem Antrag Beschriebene Kombinierte System zur蒸发和Zum Sploping von Materiallen ermöglicht die MIT höchster Qualityät，以及Wird in einem von der Gruppe Geleiteten 170 Quadratratum umfassenden Reinraum in DEM Neuen NanoInstitute t München der LMU untergebratht den.这是一种新型的光刻技术，可用于纳米结构的光刻。伦敦帝国理工学院和伦敦帝国理工学院是一所新的基础设施建设和管理机构。这是德国新学院的一项新工作，它是一项新的工作。MIT金属和纳米光子结构的金属和纳米光子结构，以及VakuumSystems Nicht möglich。

Unsere Forschung im Bereich der Plasmonik beruht auf der Nanostrukturierung von dünnen Schichten und der Herstellung von einzelnen Strukturen mit Abmessungen im Nanometerbereich. Dazu ist es unbedingt erforderlich, dünne Schichten aus einer Vielzahl von Metallen und amorphen Dielektrika mit hoher Qualität abscheiden zu können. Weiterhin wichtig ist die Möglichkeit der Herstellung von vertikalen Schichtanordnungen ohne Unterbrechung des zur Abscheidung nötigen Vakuums. Das in diesem Antrag beschriebene kombinierte System zur Evaporation und zum Sputtering von Materialien ermöglicht dies mit höchster Qualität, und wird in einem von der Gruppe geleiteten 170 Quadratmeter umfassenden Reinraum in dem neuen Nanoinstitut München der LMU untergebracht werden. Kombination mit einer Elektronenstrahllithographieanlage ermöglicht dann die Herstellung von Nanostrukturen durch einen lift-off Prozess. Die Notwendigkeit der Anschaffung ergibt sich zudem insbesondere durch den Umzug meiner Forschergruppe vom Imperial College London an die LMU, was einen Neuaufbau unserer Infrastruktur zur Nanofabrikation mit sich bringt. Die hier beantragte Gerätekombination stellt des Weiteren einen Teil der mir zugesagten Erstausstattung meiner Labore in dem neuen Institut dar. Unsere gesamte Forschung auf dem Gebiet der Plasmonik mit Metallen und Nanophotonik mit amorphen Dielektrika ist ohne den Aufbau dieses Vakuumsystems nicht möglich.