Evaporations- und Sputteranlage zur Herstellung dünner Schichten

用于生产薄层的蒸发和溅射系统

基本信息

批准号：
409597546
负责人：
金额：
--
依托单位：
Ludwig-Maximilians-Universität München (LMU)
依托单位国家：
德国
项目类别：
Major Research Instrumentation
财政年份：
2018
资助国家：
德国
起止时间：
2017-12-31 至无数据
项目状态：
未结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/409597546?language=en
关键词：
Evaporations und Sputteranlage zur Herstellung

项目摘要

Unsere Forschung im Bereich der Plasmonik beruht auf der Nanostrukturierung von dünnen Schichten und der Herstellung von einzelnen Strukturen mit Abmessungen im Nanometerbereich. Dazu ist es unbedingt erforderlich, dünne Schichten aus einer Vielzahl von Metallen und amorphen Dielektrika mit hoher Qualität abscheiden zu können. Weiterhin wichtig ist die Möglichkeit der Herstellung von vertikalen Schichtanordnungen ohne Unterbrechung des zur Abscheidung nötigen Vakuums. Das in diesem Antrag beschriebene kombinierte System zur Evaporation und zum Sputtering von Materialien ermöglicht dies mit höchster Qualität, und wird in einem von der Gruppe geleiteten 170 Quadratmeter umfassenden Reinraum in dem neuen Nanoinstitut München der LMU untergebracht werden. Kombination mit einer Elektronenstrahllithographieanlage ermöglicht dann die Herstellung von Nanostrukturen durch einen lift-off Prozess. Die Notwendigkeit der Anschaffung ergibt sich zudem insbesondere durch den Umzug meiner Forschergruppe vom Imperial College London an die LMU, was einen Neuaufbau unserer Infrastruktur zur Nanofabrikation mit sich bringt. Die hier beantragte Gerätekombination stellt des Weiteren einen Teil der mir zugesagten Erstausstattung meiner Labore in dem neuen Institut dar. Unsere gesamte Forschung auf dem Gebiet der Plasmonik mit Metallen und Nanophotonik mit amorphen Dielektrika ist ohne den Aufbau dieses Vakuumsystems nicht möglich.

Nanostrukturian罢工的悬而未决是纳米特鲁克式罢工的热门目的地。达祖（Dazu）不舒服，冶金剂的不舒服，而dielektrika是冶金所必需的。 Weighteren是地中海季节的必备品，这对于地中海季节来说是必不可少的。 vertikalen schichtanordnungen ohne unterbrechung des zurabscheidungnötigenvakuums。 Das in diesem Antrag beschriebene kombinierte System zur Evaporation und zum Sputtering von Materialien ermöglicht dies mit höchster Qualität, und wird in einem von der Gruppe geleiteten 170 Quadratmeter umfassenden Reinraum in dem neuen Nanoinstitut München der LMU Untergebracht Werden。 Kombination Mit Einer公司正在提供轻松和轻松的体验。我们致力于为充分的最大程度地提供轻松和放松的体验，我们致力于为充分的服务提供一种轻松和放松的体验。我们致力于为充分的最大程度地提供轻松和放松的体验，我们致力于为充分的服务提供一种轻松和放松的体验。 Teil der mir Zugesagten Estausstattung Meiner劳动力在Dem Neuen Institut Dar。 Unsere Gesamte forschung auf dem gebiet der plasmonik mit metallen und nanophotonik mit mit dielektrika ist ohne den aufbau dieses vakuumsystemsnichtMöglich。