測定表面の法線ベクトル検出機能の付加による三角測量式光学センサの測定精度の向上

测量面增加法向量检测功能提高三角测量型光学传感器的测量精度

• 批准号: 21K03796
• 负责人: 伊藤 幸弘
• 金额: $ 2.16万
• 依托单位: Tokyo Metropolitan College of Industrial Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2021
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2021-04-01 至 2024-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-21K03796/
• 关键词: シリコンウェーハ; 形状測定; 三角測量式; オートコリメート; シミュレーション; 三角測量式光学センサ; オートコリメータ; 測定偏差補正; 三角測量式光学センサー

年度の前半は，大阪大学光学研究科機械工学専攻ナノ加工計測学領域水谷康弘准教授ご指導の下，「フォトダイオードを用いた偏光状態の計測およびビームプロファイラを用いたレーザ光のビームプロファイル計測」，「パワーメータによるパワー測定および分光器によるスペクトル測定」などの基礎的な光学的実験手法を習得した．さらに，一昨年度までに市販の三角測量式光学センサを用いた実験により定性的に示した測定表面の傾きにより生じる偏差について，今年度は測定表面の傾きと偏差の関係を定量的に示すために必要な三角測量式光学系についての基本的な構成を学んだ．そして，三角測量式光学系の構築のためには，シミュレーションを用いての高精度な光軸調整などが必要であることを確認した．また年度の後半は，当研究室でも先と同様の光学実験環境を整備すべく実験装置や機器の入手を進めたが，昨今の半導体不足の影響により自動微小変位テーブルのコントローラが年度末までに入手できないことがわかった．そこで，前述のように三角測量式光学系の構築のためにはシミュレーションが必要と判断したため，三角測量式光学系を模したシミュレーションの作成に取り組んだ．これにより，三角測量式光学センサによる測定表面の変位をはじめ，本研究のテーマである測定表面の傾きにより生じる偏差についてもシミュレートすることができ，その傾向は一昨年度までに得られた実験結果と定性的に一致することを示した．

In the first half of the year, Osaka University School of Optics, Mechanical Engineering, Field of Processing Measurement, Professor Yasuhiro Mizutani,"Measurement of Polarization State in Applications,""Measurement of Polarization State in Applications," and "Measurement of Spectrometer in Applications," the basic optical implementation method was learned. In recent years, the application of triangulation optical system in the market has been studied qualitatively to show the relationship between inclination and deviation of surface. In this year, the relationship between inclination and deviation of surface has been quantitatively shown. The construction of triangulation optical system is necessary to confirm the high accuracy of optical axis adjustment. In the second half of the year, when the laboratory began to prepare for the same optical environment, the equipment and machinery began to advance, and the semiconductor shortage in the past affected the automatic micro-shift of the equipment and equipment. Therefore, it is necessary to judge the construction of the triangulation optical system, and the construction of the triangulation optical system. The results of this study are consistent with those of previous studies.

项目成果

大口径シリコンウェーハの形状測定における三角測量式光学センサの測定原理により生じる偏差の実験的検証

三角测量光学传感器测量原理在大直径硅片形状测量中引起偏差的实验验证

• 发表时间: 2022
• 作者: KUSHIMA Kotaro;FURUMOTO Tatsuaki;ONO Yushi;OYAMA Tomohiro;東直哉，古本達明，山口貢，牛晶，小関秀峰，桑原孝介;久島光太郎，古本達明，阿部諭，山口貢，大野雄史，須貝友裕，尾山朋宏;久島光太郎，古本達明，阿部諭，大野雄史，尾山朋宏;東直哉，古本達明，山口貢，牛晶，小関秀峰，桑原孝介;馬場浩史郎，伊藤幸弘，深津拡也
• 通讯作者: 馬場浩史郎，伊藤幸弘，深津拡也

大口径シリコンウェーハの高精度形状測定方法の開発

大直径硅片高精度形状测量方法开发

• 发表时间: 2021
• 作者: KUSHIMA Kotaro;FURUMOTO Tatsuaki;ONO Yushi;OYAMA Tomohiro;東直哉，古本達明，山口貢，牛晶，小関秀峰，桑原孝介;久島光太郎，古本達明，阿部諭，山口貢，大野雄史，須貝友裕，尾山朋宏;久島光太郎，古本達明，阿部諭，大野雄史，尾山朋宏;東直哉，古本達明，山口貢，牛晶，小関秀峰，桑原孝介;馬場浩史郎，伊藤幸弘，深津拡也;伊藤幸弘
• 通讯作者: 伊藤幸弘