測定表面の法線ベクトル検出機能の付加による三角測量式光学センサの測定精度の向上

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年度の前半は，大阪大学光学研究科機械工学専攻ナノ加工計測学領域水谷康弘准教授ご指導の下，「フォトダイオードを用いた偏光状態の計測およびビームプロファイラを用いたレーザ光のビームプロファイル計測」，「パワーメータによるパワー測定および分光器によるスペクトル測定」などの基礎的な光学的実験手法を習得した．さらに，一昨年度までに市販の三角測量式光学センサを用いた実験により定性的に示した測定表面の傾きにより生じる偏差について，今年度は測定表面の傾きと偏差の関係を定量的に示すために必要な三角測量式光学系についての基本的な構成を学んだ．そして，三角測量式光学系の構築のためには，シミュレーションを用いての高精度な光軸調整などが必要であることを確認した．また年度の後半は，当研究室でも先と同様の光学実験環境を整備すべく実験装置や機器の入手を進めたが，昨今の半導体不足の影響により自動微小変位テーブルのコントローラが年度末までに入手できないことがわかった．そこで，前述のように三角測量式光学系の構築のためにはシミュレーションが必要と判断したため，三角測量式光学系を模したシミュレーションの作成に取り組んだ．これにより，三角測量式光学センサによる測定表面の変位をはじめ，本研究のテーマである測定表面の傾きにより生じる偏差についてもシミュレートすることができ，その傾向は一昨年度までに得られた実験結果と定性的に一致することを示した．