A device for identifying nanometer-order foreign objects and its materials on silicon wafers
A device for identifying nanometer-order foreign objects and its materials on silicon wafers
一种硅片上纳米级异物及其材质识别装置
批准号：
20K20955
负责人：
Araki Mikiya
金额：
$3.33万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
财政年份：
2020
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2020-07-30 至 2023-03-31
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散乱光強度を用いたサブミクロン粒子の粒径と屈折率の同時測定
利用散射光强度同时测量亚微米颗粒的粒径和折射率
利用散射光强度同时测量亚微米颗粒的粒径和折射率
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
作者：
[ウーガンバヤル ナムーン, 神藤 慎弥, 石井 陽祐, 川崎 晋司, 木越綾香，大津晴登，齋藤遼太，ゴンザレス・ファン，荒木幹也]
通讯作者：
木越綾香，大津晴登，齋藤遼太，ゴンザレス・ファン，荒木幹也
Investigation of acoustic radiation from a 1000 m/s class jet moving at a high speed in stationary ambient
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批准号：19H02338
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额：$9.24万
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财政年份：2019
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负责人：Araki Mikiya
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依托单位：
Jet Noise Assessment of Full-Scale Supersonic Engines Using 1MHz Optical Microphone and Low-Density-Gas Jets
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批准号：16H04584
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额：$7.99万
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财政年份：2016
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负责人：Araki Mikiya
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依托单位：
海外基金
