Development of ultrahigh-sensitive silicon nanowire biosensor for simultaneous detection of various biomolecules in a single drop of body fluid

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本研究では、電子線リソグラフィによりシリコンナノワイヤ（SiNW）素子を作製し、夾雑物のフィルタリング、多種類生体物質を各々特異的に結合できる表面修飾法を確立して、体液1滴に含まれる多種類の生体物質を同時検出可能なバイオセンサの創製を目指す。令和4年度は、コロナ禍がある程度収束したため、東京大学の共同利用設備も使用した研究を推進して、以下の成果を得た。(1) SiNWバイオセンサ高感度化に向けたNW細線化の研究：SiNWバイオセンサの高感度化にはNWの細線化が有効だが、従来作製したSiNWの最小線幅は約20 nmであった。そこで、電子線描画条件や高密度プラズマエッチングの条件を最適化して、NWの細線化を試みた。その結果、幅約11 nmのSiNWが形成でき、卵白アルブミンと抗卵白アルブミングロブリンG（IgG）の特異的結合の測定から、濃度6 aM（10^-18 mol/L）の超低濃度IgGの検出に成功した。さらに、幅が異なるSiNWを用いた同様の測定から、IgG付着によるSiNW内部に形成された空乏領域の厚さを求めることができた。(2) 多種生体分子同時検出のためのSiNWバイオセンサチップの作製：令和3年度に引き続き、1チップ上に4つのSiNWセンサが配置されたセンサチップの作製を進めた。SOI基板上にTi電極をフォトリソグラフィで形成後、電子線描画で電極間に架橋するHSQレジストNWを形成した。その際、SOI基板上の離れた位置に複数のSiNWセンサを形成するには、電子線描画における露光位置、焦点、露光量等の調整が困難で、長時間を要する。そこで、重ね露光機能を用いた自動アライメント露光を試したが、NW幅のバラつきや電極に対する位置ずれが生じた。この改善を試みていたところ、HSQレジストの生産終了、電子線描画装置の電源故障が生じたため、その解決に時間を要してしまった。