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Study of Metal Growth Mechanism into Nano-space on Supercritical Nano-Plating

超临界纳米电镀纳米空间金属生长机理研究

基本信息

批准号：
21H01668
负责人：
曽根正人
金额：
$ 11.07万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2021
资助国家：
日本
起止时间：
2021-04-01 至 2025-03-31
项目状态：
未结题

项目摘要

本提案では、十ナノメートルの微細孔への無欠埋め込みめっきを可能とする超臨界ナノプレーティング（SNP）法を、超臨界電化学反用回転電極セルを創成することにより、電化学及び流体工学的に反解析し金属成長機序を解明し、金属無機・有機材料のナノ空間にナノメートルの無欠かつ均一な金属を被覆可能なめっき金属成長制御の学理を構築することを目的とする。［１］2021年度までに、超臨界二酸化炭素電気化学反応用回転電極セルを設計・製造を作成し、超臨界二酸化炭素を用いた電気化学反応に関する素反応解析に成功した。2022年度にその成果を電気化学のトップジャーナルの一つJournal of The Electrochemical Societyに二報発表できた。この成果をナノ粒子分散のめっき液を用いた電解めっきに応用し、超臨界二酸化炭素分散相をソフト粒子、ナノ粒子をハード粒子とする電析機構モデルを提案できた。この成果をMaterials Chemistry and Physicsに発表した。このように無機材料のナノ空間への金属析出に関する反応機構に関して研究計画に沿った研究実施ができた。同時に論文発表も行っており、2022年まで十分な研究成果が得られている。［２］超臨界二酸化炭素触媒化法による高分子繊維のナノ空間への金属触媒の析出機構に関して固体NMR法による解析に成功した。この研究により超臨界二酸化炭素の繊維のナノ構造への影響と、超臨界二酸化炭素触媒化法による結晶化を見出し、同時にポリマー鎖の分子運動の抑制を直接明らかにすることができた。この成果をThe Journal of Supercritical Fluidsで発表した。

This proposal aims to clarify the metal growth mechanism by supercritical electrochemical reaction (SNP) method, supercritical electrochemical reaction (SCR) method and supercritical electrochemical reaction (REC) method for the formation of micro-pores without under-burdening. Metal inorganic and organic materials can be coated with metal without any defects. [1] In 2021, the design and production of electrode for supercritical carbon electrochemical reaction were successfully carried out. The Journal of The Electrochemical Society published a report on the achievements of the year 2022. The results of this study include particle dispersion, electrolysis, supercritical diacidification, carbon dispersion, particle dispersion, and electrolysis mechanism. The results of Materials Chemistry and Physics were published. The research plan for the mechanism of metal precipitation in the space of inorganic materials was carried out. At the same time, the paper will be published and the research results will be available in 2022. [2]Supercritical Carbon Diacid Catalytic Method for the Determination of Polymeric Carbon Particles by Solid State NMR This research focuses on the influence of supercritical diacidified carbon on the structure and crystallization of supercritical diacidified carbon, and on the inhibition of molecular motion. The Journal of Supercritical Fluids is published.

项目成果

期刊论文数量（44）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Study of Pt/PET Composite Fiber Prepared by Supercritical CO2 Catalyzation

超临界CO2催化制备Pt/PET复合纤维的研究

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
M. Mitsumoto;W.T. Chiu;C.Y. Chen;T.F.M. Chang;A. Jinno;H. Kurosu;Y. Watanabe;M. Sone
通讯作者：
M. Sone

A Non-Distructive Resoneance Frequency Method to determine Effective young's Modulus of 3-Dimentional Multilayered Ti/Au Micro-cantilevers Toward Highly Sensitive MEMS Accerelometer

一种确定高灵敏度 MEMS 加速度计 3 维多层 Ti/Au 微悬臂梁有效杨氏模量的非破坏性谐振频率方法

DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
Masato Sone;Hitomi Watanabe;Kyotaro Nitta;Hideaki Nakajima;Tomoyuki Kurioka;Chun-Yi Chen;Parthojit Chakraborty;Daisuke Yamane;Hiroyuki Ito;Katsuyuki. Machida;Yoshihiro Miyake;Tso-Fu Mark Chang.
通讯作者：
Tso-Fu Mark Chang.

Micro-Mechanical Property of Single Crystal Gold for Applications in Microelectronics

单晶金的微机械性能在微电子领域的应用

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Kazuya Fujita ; Kosuke Suzuki ; Chun-Yi Chen ; Tso-Fu Mark Chang ; Hiroyuki Ito ; Katsuyuki Machida ; Kazuya Masu ; Masato Sone
通讯作者：
Masato Sone

Micro-Mechanical Property Evaluation of Gold-Nickel Alloys toward Design of MEMS Component

用于 MEMS 元件设计的金镍合金微机械性能评估

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Takumi Akiyama ; Chun-Yi Chen ; Tso-Fu Mark Chang ; Daisuke Yamane ; Hiroyuki Ito ; Katsuyuki Machida ; Kazuya Masu ; Masato Sone
通讯作者：
Masato Sone

The Structure and Micro-Mechanical Properties of Electrodeposited Cobalt Films by Micro-Compression Test