Elucidation of structures of complex quasi-continuous atomic spectra UTA by using high dispersion spectroscopy and statistical theories
Elucidation of structures of complex quasi-continuous atomic spectra UTA by using high dispersion spectroscopy and statistical theories
批准号:
21H04460
负责人:
村上 泉
金额:
$27.29万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份:
2021
资助国家:
日本
项目状态:
未结题
起止时间:
2021-04-05 至 2026-03-31
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(1) 極端紫外(EUV)の4-20nm波長領域の高波長分解高分散分光器の製作を行った。高分散の回折格子は、2300 lines/mm の不等間隔溝ホログラフィックラミナータイプのものを島津製作所と共同で設計、作成し、分光器に設置した。(2) レーザー生成プラズマからの準連続スペクトル構造UTAを計測するため、レーザー生成プラズマ実験システムを構築し、本課題で製作した高分解高分散分光器を接続できる状態に到達した。。(3) 核融合研の大型ヘリカル装置(LHD)を使ったプラズマ実験を行い、タングステンや希土類などをペレットで入射し、多様な電子温度や密度におけるEUV領域のスペクトルを計測した。既存のスペクトルデータを精査し、極端紫外・軟X線領域で主要なスペクトル構造の原子番号依存性の解析を進展させた。その結果、ランタノイド元素などの、銅様、亜鉛様、ガリウム様イオンを中心とした多数のスペクトル線が新たに同定された。また、電気通信大学の電子ビームイオントラップTokyo-EBITと既存の極端紫外分光器を用いて、タングステン多価イオンの5nm近傍のUTA構造に関する分光測定を継続して行った。価数依存をより詳しく見るために、昨年度より広範な電子ビーム範囲での観測を行った。関連して、Euなどの極端紫外分光を特にGa様近辺の価数のイオンについて行った。昨年度より波長範囲を広げて測定を行った。(4) 第一原理計算を進め、タングステン21価イオンの原子構造、放射遷移確立などの原子データの計算を行い、衝突輻射モデルの構築を進めた。(5) EUV光源用Sn-希土類多価イオンの原子モデルの物理シミュレーション及びデータ科学的な研究を行なった。多価イオンの多数のエネルギー状態の中からポピュレーション、スペクトルに効果の大きい状態を見出すアルゴリズムの開発と検証を行なった。
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5p-5s spectrum in highly charged WXII - WXIV Ions
高电荷 WXII - WXIV 离子中的 5p-5s 谱图
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
--
作者:
[Priti, Momoe Mita, Daiji Kato, Izumi Murakami, Hiroyuki A. Sakaue, Nobuyuki Nakamura]
通讯作者:
Nobuyuki Nakamura
非熱的電子存在下におけるリチウム様アルゴンの内殻遷移の卓越
非热电子存在下类锂氩中核心转变的突出
DOI:
--
发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
--
作者:
[川手朋子, 後藤基志, 大石鉄太郎, 川本靖子, 山田一博, 舟場久芳, 高橋裕己]
通讯作者:
高橋裕己
Improvement of the modeling of atomic processes in plasmas for the study of EUV source based on a data driven approach
基于数据驱动方法改进等离子体中原子过程的建模,用于研究 EUV 源
DOI:
--
发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
--
作者:
[A. Sasaki]
通讯作者:
A. Sasaki
Investigation of EUV emission from Sn to rare-earth plasmas in terms of the accuracy of the atomic data and completeness of atomic model
从原子数据的准确性和原子模型的完整性方面研究从锡到稀土等离子体的 EUV 发射
DOI:
--
发表时间:
2023
期刊:
proceedings of SPIE Optical and EUV nanolithography XXXVI
影响因子:
--
作者:
[Hirata Akiko, Fukasawa Masanaga, Tercero Jomar U., Kugimiya Katsuhisa, Hagimoto Yoshiya, KARAHASHI Kazuhiro, Hamaguchi Satoshi, Iwamoto Hayato, Masaki Fujita, A. Sasaki]
通讯作者:
A. Sasaki
Observation of extreme ultraviolet to visible spectra of tungsten ions with a compact electron ion beam trap
使用紧凑型电子离子束阱观察钨离子的极紫外到可见光谱
DOI:
--
发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
--
作者:
[Kota Inadome, Mayuko Funabashi, Priti, Daiji Kato, Hiroyuki A. Sakaue, Izumi Murakami, Nobuyuki Nakamura]
通讯作者:
Nobuyuki Nakamura
共 26 条
放射損失とプラズマ診断の為の非平衡電離プラズマでのL殻イオン衝突輻射モデルの研究
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批准号:10780302
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.9万
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财政年份:1998
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负责人:村上 泉
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依托单位:
海外基金