High-nonlinearity silicon nitride waveguide deposited by low-temperature LSCVD

低温LSCVD沉积的高非线性氮化硅波导

• 批准号: 19K15054
• 负责人: Kou Rai
• 金额: $ 2.08万
• 依托单位: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
• 财政年份: 2019
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2019-04-01 至 2021-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19K15054/
• 关键词: SiN導波路; 液体原料CVD; グラフェン; 非線形光学素子; シリコンフォトニクス; SiN; 非線形光学効果; 二次元材料

项目成果

100 oC deposited transparent silicon nitride film for O-band photonic applications

用于 O 波段光子应用的 100 oC 沉积透明氮化硅薄膜

• 发表时间: 2019
• 作者: R. Kou;N. Yamamoto;G. Fujii;T. Aihara;T. Tsuchizawa;A. Ishizawa;K. Hitachi;H. Gotoh;M. Ukibe;K. Yamada
• 通讯作者: K. Yamada

Dopamine detection on activated reaction field consisting of graphene-integrated silicon photonic cavity

• DOI: 10.1364/oe.27.032058
• 发表时间: 2019-10-28
• 期刊: OPTICS EXPRESS
• 影响因子: 3.8
• 作者: Kou, Rai;Kobayashi, Yuzuki;Yamada, Koji
• 通讯作者: Yamada, Koji

量子情報実験のための光導波路デバイス

用于量子信息实验的光波导器件

• 发表时间: 2020
• 期刊: 電子情報通信学会論文誌C
• 作者: 松田 信幸;武居 弘樹;清水 薫;William John Munro;西 英隆;福田 浩;土澤 泰;高 磊;山田 浩治;石澤 淳;柏崎 貴大;倉持 栄一;谷山 秀昭;納富 雅也;小熊 学;井藤 幹隆;橋本 俊和
• 通讯作者: 橋本 俊和

Spectrometric analysis of silicon nitride films deposited by low-temperature liquid-source CVD

低温液源 CVD 沉积氮化硅薄膜的光谱分析

• DOI: 10.1063/1.5114675
• 发表时间: 2019
• 期刊: Journal of Applied Physics
• 影响因子: 3.2
• 作者: R. Kou;N. Yamamoto;G. Fujii;T. Aihara;T. Tsuchizawa;A. Ishizawa;K. Hitachi;H. Gotoh;M. Ukibe;K. Yamada
• 通讯作者: K. Yamada

Si集積プラットフォームの非線形光学応用開拓

开发Si集成平台的非线性光学应用

• 发表时间: 2020
• 期刊: レーザー研究
• 作者: 高 磊;石澤 淳;松田 信幸;山田 浩治
• 通讯作者: 山田 浩治