Entwicklung einer Strategie zur produktionsbegleitenden Messung in der Silizium- Mikromechanik auf der Basis von Teststrukturen - STRATEST

在新的历史时期，这是一种新的技术。Mikroskala angepasst的Messstrategien des Makroskopischen müssen de Mikroskala angepasst，Neue Messstrategien müssen entwickelt，vvhandene Messverfahren müssen hinsichtlich Kalibrierung，Rück führbarkeit der Messergebnisse and Eignung ALS Productssbeegleitende Messtechnik erforscht and Weterentwickelt Wickelt。Das be diesem Anpassprozess noch Existierende Defizit stellt ein Hindernis für die de berführung in lab Technischen Prototype enfertigung Hin Zur Industriellen Produkkar.从2005年到2009年，我们的经济发展将继续保持良好的势头和活力。他说：“这是一种电子机械的功能，但也不适用于实际系统。从技术上来说，这是一种新的生产技术和技术改进。我是Ergebennis liegen bewegliche Elemente and feststehende Strukturen Sowie Schichtsystem e Aus verschiedensten Materialent Vor.在德国，一个新的工程项目和新的战略是，它是一个错误的，Für的基础上，这是一个有效的质量的基础上，它是一个有效的质量基础上的设计和技术过程的相关参数和德伦施万孔根。这是一项新的计划，但同时也是一项新的计划。战略与材料规划：通用的设计与测试规划和晶圆布局设计(在相关的参数、技术和材料规范的参数适配下，这些技术支持参数的调整和参数的调整)。我是Ergebennis soll eine Bibliothek von Standard-Teststrukturen vorliegen，模具在ABHänGigkeit vom Design der Nutzstrukut，Deren功能相关的参数和技术的Sowie der Sind and die für产品开始为Ergebnisse Geeignet sind的Messungen Sowie für de Messungen Sowie für de Messungen Sowie für dieúbergregarbarkeit der Ergebnisse Geeignet sind提供参数。Au？Erdem Sollen allgeingültige Richtlinien zur Durchführung der Messung an den Standard-Teststrukturen abgeleitet den.(.)

Die Entwicklungen in der Mikrosystemtechnik stellen die Messtechnik vor neue Herausforderungen. Messstrategien des Makroskopischen müssen der Mikroskala angepasst, neue Messstrategien müssen entwickelt, vorhandene Messverfahren müssen hinsichtlich Kalibrierung, Rückführbarkeit der Messergebnisse und Eignung als produktionsbegleitende Messtechnik erforscht und weiterentwickelt werden. Das bei diesem Anpassprozess noch existierende Defizit stellt ein Hindernis für die Überführung der labortechnischen Prototypenfertigung hin zur industriellen Produktion dar. Die Vielzahl der bereits auf dem Markt etablierten Mikrosysteme sowie die NEXUS-Roadmap 2005-2009 zeigen die große Bedeutung, die Sensoren und Aktoren aus Silizium zukommt. Bei einer großen Klasse von mikromechanischen Sensoren und Aktoren wird die eigentliche Funktion des elektromechanischen Wandlers durch Feder-Masse-Dämpfer-Systeme realisiert. Ihre Produktion erfolgt mittels verschiedener aus der Mikroelektronik adaptierter und modifizierter Technologien, die verschiedenste Abscheide- und Strukturierungsverfahren umfassen. Im Ergebnis liegen bewegliche Elemente und feststehende Strukturen sowie Schichtsysteme aus verschiedensten Materialien vor. In dem beantragten Projekt soll eine neuartige Strategie entwickelt werden, die es ermöglicht, für die genannte Klasse von Komponenten der Silizium-Mikromechanik die funktionsrelevanten Parameter und deren Schwankungen, die aus Design und technologischem Prozess herrühren, produktionsbegleitend auf Waferlevel zu messen und auf dieser Basis eine effektive Qualitätssicherung zu realisieren. Sie beruht auf der Entwicklung von Teststrukturen, die neben den eigentlich zu fertigenden Nutzstrukturen im Waferlayout vorzusehen sind und parallel mit den Nutzstrukturen prozessiert werden. Die Strategie umfasst folgende Schritte:¿ die Generierung des Designs der Teststrukturen sowie deren Platzierung im Waferlayout (unter Berücksichtigung des Designs der Nutzstruktur und ihrer funktionsrelevanten Parameter, des technologischen Ablaufs und materialspezifischer Kennwerte)¿ die numerische und analytische Beschreibung der Teststrukturen¿ die produktionsbegleitende Messung an Teststrukturen unter Nutzung verschiedener Messmethoden¿ die Zusammenführung der erhaltenen Messergebnisse im Sinne einer Parameteradaption¿ Rückschluss auf die Parameter der Nutzstruktur. Im Ergebnis soll eine Bibliothek von Standard-Teststrukturen vorliegen, die in Abhängigkeit vom Design der Nutzstruktur, deren funktionsrelevanten Parametern sowie der Technologie ausgelegt sind und die für produktionsbegleitende Messungen sowie für die Übertragbarkeit der Ergebnisse geeignet sind. Außerdem sollen allgemeingültige Richtlinien zur Durchführung der Messung an den Standard- Teststrukturen abgeleitet werden. (...)