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Semiconductor electron beam source that brings fine-area dynamics observation technology to damage sensitive samples

Semiconductor electron beam source that brings fine-area dynamics observation technology to damage sensitive samples
半导体电子束源带来精细区域动态观测技术以破坏敏感样品
批准号:
19H00666
负责人:
Nishitani Tomohiro
金额:
$29.04万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份:
2019
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2019-04-01 至 2022-03-31

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