Electroplated Aluminum Thermal Actuator with Large Force Output for Micro Position Control System

用于微位置控制系统的具有大力输出的电镀铝热执行器

基本信息

  • 批准号:
    19J11122
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 1.15万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 财政年份:
    2019
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2019-04-25 至 2021-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

マイクロシステムでは、マイクロセンサ、制御回路、通信インタフェースの他、マイクロアクチュエータも重要である。微小電気機械システム(MEMS)を実用化するためには、小さな面積を占有しながら低消費電力で大きな撓みと発生力を提供できるマイクロアクチュエータが必要とされる。他の駆動方と比べ、熱アクチュエータは大きな発生力や発生距離を低電圧・電流で実現できる。しかし、熱アクチュエータを駆動するためには大量のエネルギーが必要とされ、消費電力が大きである。本研究では低消費電力を目指した熱アクチュエータを提案する。アルミニウムは、本来の熱アクチュエータとして使用される多結晶あるいは単結晶シリコンより10倍膨張率を持つ。同様な温度変化が加われた際にアルミニウムは10倍程度膨張し、低消費電力でも大きな発生力で駆動できる。金属薄膜をマイクロ熱アクチュエータとして応用するためには、主にめっき技術で成膜される。本研究では、大きな発生力を有するめっきアルミニウムを用いてマイクロ熱アクチュエータを目的にする。めっきアルミニウムをマイクロ熱アクチュエータとして応用するためには様々な材料特性の理解が必要である。本研究では、めっきアルミニウム膜の機械、電気及び熱特性を評価した。成膜条件及び微細構造の依存性も明確にした。また、均一性を向上させるための添加剤による影響も明確にした。これらの結果は、マイクロ熱アクチュエータに限らず、将来のめっきアルミニウムの様々なマイクロシステム応用への設計ガイドとして役に立つ。分析した機械特性をもとにし、めっきしたアルミニウムを用いて新たな微細加工プロセスプラットフォームを開発し、マイクロ熱アクチュエータを作製し、その動作を評価した。
Please tell me that the control circuit, the communication circuit, the communication circuit, the control circuit, the communication circuit, Micro-electronic machinery equipment (MEMS) equipment, small equipment, low power dissipation power equipment, high power supply equipment, low power consumption equipment, low energy consumption equipment, low power consumption, low power consumption, low power consumption, If you want to make a comparison between the two parties, please do not know how to do it. If you are far away from the current, you will find that there is a problem. A large number of vehicles are required to purchase necessary electricity and consume large amounts of electricity. In this study, the purpose of this study is to propose a proposal for low-cost power generation. This is due to the fact that the expansion rate is 10 times higher than that of the previous one. At the same time, the temperature will increase and the temperature will be expanded 10 times as much as that of the low-consumption electric power plant. The metal film is used to form a thin film. The purpose of this study is to improve the quality of life in the first place of this study. In order to understand the necessary properties of the material, please do not know what is necessary. In this study, the mechanical, electrical and mechanical properties of the film were studied. The film-forming conditions and the dependence of microstructures are very clear. The effect of uniformity on the performance of each other is not unambiguous. The results of the test, the results of the test results, the In order to analyze the characteristics of machinery and equipment, the new micro-machining system is used to analyze the characteristics of machinery.

项目成果

期刊论文数量(12)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Outstanding Technical Paper Award
优秀技术论文奖
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
Tailoring material properties of electrochemically deposited Al film from chloroaluminate ionic liquid for microsystem technology using pulsed deposition
  • DOI:
    10.1016/j.sna.2020.112384
  • 发表时间:
    2020-12-01
  • 期刊:
  • 影响因子:
    4.6
  • 作者:
    Al Farisi, Muhammad Salman;Tsukamoto, Takashiro;Tanaka, Shuji
  • 通讯作者:
    Tanaka, Shuji
Dynamically Balanced Out-of-Plane Resonator for Roll/Pitch Rate Integrating Gyroscope
用于横滚/俯仰速率积分陀螺仪的动态平衡面外谐振器
  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Shihe Wang;Muhammad Salman Al Farisi;Takashiro Tsukamoto;Shuji Tanaka
  • 通讯作者:
    Shuji Tanaka
Zero-Balance Method for Evaluation of Sealed Cavity Pressure Down to Single Digit Pa Using Thin Silicon Diaphragm
  • DOI:
    10.1109/jmems.2020.2984229
  • 发表时间:
    2020-06-01
  • 期刊:
  • 影响因子:
    2.7
  • 作者:
    Al Farisi, Muhammad Salman;Hirano, Hideki;Tanaka, Shuji
  • 通讯作者:
    Tanaka, Shuji
Roll/Pitch Rate Integrating MEMS Gyroscope Using Dynamically Balanced Dual-Mass Resonator
使用动态平衡双质量谐振器的滚转/俯仰速率集成 MEMS 陀螺仪
  • DOI:
  • 发表时间:
    2020
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Shihe Wang;Muhammad Salman Al Farisi;Takashiro Tsukamoto;Shuji Tanaka
  • 通讯作者:
    Shuji Tanaka
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

Al Farisi Muhammad其他文献

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{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

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  • 资助金额:
    $ 1.15万
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    Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
{{ showInfoDetail.title }}

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