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Heterophotonics fabricated by ultra-precision cutting and room-temperature bonding

Heterophotonics fabricated by ultra-precision cutting and room-temperature bonding
通过超精密切割和室温键合制造的异光子学
批准号：
17H04925
负责人：
Takigawa Ryo
金额：
$15.56万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
财政年份：
2017
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2017-04-01 至 2020-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17H04925/
关键词：
常温接合導波路切削加工LNOI異種材料集積LN/Siハイブリッド構造LNOI光集積回路LNOIリング共振器LNOI/Siハイブリッド構造光実装ハイブリッド光導波路LN/Siフォトニクス切削導波路加工LiNbO3/Si集積化小型・低消費電力光デバイス強誘電体/半導体融合デバイスハイブリッド光導波路型デバイス常温移載接合大気中接合・加工光マイクロシステムナノ切削加工大気中微細加工・接合

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Surface Activated Bonding of LiNbO3 and GaN at Room Temperature
LiNbO3 和 GaN 室温下的表面活化键合
DOI： 10.1149/08605.0207ecst
发表时间： 2018
期刊： ECS transactions
影响因子： --
作者： [Ryo Takigawa, Eiji Higurashi and Tanemasa Asano]
通讯作者： Eiji Higurashi and Tanemasa Asano
Direct bonding of LiNbO3 and SiC wafers at room temperature
DOI： 10.1016/j.scriptamat.2019.08.027
发表时间： 2020-01-01
期刊： SCRIPTA MATERIALIA
影响因子： 6
作者： [Takigawa, Ryo, Utsumi, Jun]
通讯作者： Utsumi, Jun
Room-temperature direct bonding of LiTaO3 and SiC wafers for future SAW filter
用于未来 SAW 滤波器的 LiTaO3 和 SiC 晶圆的室温直接键合
DOI： --
发表时间： 2019
期刊：
影响因子： --
作者： [Ryo Takigawa, Jun Utsumi]
通讯作者： Jun Utsumi
Surface activated bonding of LiNbO3 and Si for optical microsystem
用于光学微系统的 LiNbO3 和 Si 的表面活化键合
DOI： --
发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
作者： [Ryo Takigawa, Jun Utsumi, 竹内琢磨，居村岳広，郡司大輔，藤本博志，堀洋一, 古里洸一，居村岳広，堀洋一, 長井千明，犬飼健二，小林正人，江藤次郎，田中達也，安藤賢一，居村岳広，堀洋一, Ryo Takigawa]
通讯作者： Ryo Takigawa
共 8 条
    Low temperature bonding for integrated photonics application
    • 批准号：
      20H02207
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $11.15万
    • 财政年份：
      2020
    • 负责人：
      Takigawa Ryo
    • 依托单位：
      Kyushu University
    Room temperature bonding in air for heterogeneous optical integration
    • 批准号：
      18K18863
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • 资助金额：
      $3.99万
    • 财政年份：
      2018
    • 负责人：
      Takigawa Ryo
    • 依托单位：
      Kyushu University
    Fabrication of Lithium Niobate waveguides using ultra-precision ductile-mode cutting method
    • 批准号：
      15K18055
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.66万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      Takigawa Ryo
    • 依托单位：
      Kyushu University