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Heterophotonics fabricated by ultra-precision cutting and room-temperature bonding
通过超精密切割和室温键合制造的异光子学
基本信息
- 批准号：17H04925
- 负责人：
- 金额：$ 15.56万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
- 财政年份：2017
- 资助国家：日本
- 起止时间：2017-04-01 至 2020-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Surface Activated Bonding of LiNbO3 and GaN at Room Temperature
LiNbO3 和 GaN 室温下的表面活化键合
- DOI：10.1149/08605.0207ecst
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Ryo Takigawa;Eiji Higurashi and Tanemasa Asano
- 通讯作者：Eiji Higurashi and Tanemasa Asano
Direct bonding of LiNbO3 and SiC wafers at room temperature
- DOI：10.1016/j.scriptamat.2019.08.027
- 发表时间：2020-01-01
- 期刊：
- 影响因子：6
- 作者：Takigawa, Ryo;Utsumi, Jun
- 通讯作者：Utsumi, Jun
Room-temperature direct bonding of LiTaO3 and SiC wafers for future SAW filter
用于未来 SAW 滤波器的 LiTaO3 和 SiC 晶圆的室温直接键合
- DOI：
- 发表时间：2019
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Ryo Takigawa;Jun Utsumi
- 通讯作者：Jun Utsumi
Surface activated bonding of LiNbO3 and Si for optical microsystem
用于光学微系统的 LiNbO3 和 Si 的表面活化键合
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Ryo Takigawa;Jun Utsumi;竹内琢磨，居村岳広，郡司大輔，藤本博志，堀洋一;古里洸一，居村岳広，堀洋一;長井千明，犬飼健二，小林正人，江藤次郎，田中達也，安藤賢一，居村岳広，堀洋一;Ryo Takigawa
- 通讯作者：Ryo Takigawa
Siナノ密着層を利用したLiNbO3とSiO2の常温ウエハ接合と低損失LNOI光導波路への応用
使用Si纳米粘附层进行LiNbO3和SiO2的室温晶圆键合及其在低损耗LNOI光波导中的应用
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：多喜川良;浅野種正
- 通讯作者：浅野種正
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Giorgio Lovison，Takehiro Imura，Hiroshi Fujimoto，Yoichi Hori
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Takigawa Ryo
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- 作者：
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