Measurement of ion energy distribution incident on substrate by retarding field energy analyzer
Measurement of ion energy distribution incident on substrate by retarding field energy analyzer
通过延迟场能量分析仪测量入射到基底上的离子能量分布
批准号：
19K03810
负责人：
Matsuda Yoshinobu
金额：
$2.75万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2019
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2019-04-01 至 2023-03-31
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磁化反射電界型エネルギー分析器を用いた負イオンエネルギー分布関数測定における磁界強度の影響
磁场强度对磁化反射电场能量分析仪测量负离子能量分布函数的影响
磁场强度对磁化反射电场能量分析仪测量负离子能量分布函数的影响
DOI：
--
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
作者：
[渡辺 航希, 埋ノ江 翔真, 金堀 洋輔, 早川 誠一, 松田 良信]
通讯作者：
松田 良信
Reduction and uniformization of the resistivity of Ga-doped ZnO by combining short-gap magnetron sputtering and buffer layer
短间隙磁控溅射与缓冲层相结合降低Ga掺杂ZnO电阻率并均匀化
短间隙磁控溅射与缓冲层相结合降低Ga掺杂ZnO电阻率并均匀化
DOI：
10.7567/1347-4065/ab09c7
发表时间：
2019
期刊：
Jpn. J. Appl. Phys.
影响因子：
--
作者：
[Yoshinobu Matsuda, Naoki Matsuo, Kohei Sakamoto, Masanori Shinohara, Tomohiro Furusato, and Takahiko Yamashita]
通讯作者：
and Takahiko Yamashita
長崎大学・プラズマ工学研究室のホームページ
长崎大学等离子体工程实验室主页
长崎大学等离子体工程实验室主页
DOI：
--
发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
磁化反射電界型エネルギー分析器を用いたイオンエネルギー分布関数測定に及ぼす磁界強度の影響
磁场强度对磁化反射电场能量分析仪测量离子能量分布函数的影响
磁场强度对磁化反射电场能量分析仪测量离子能量分布函数的影响
DOI：
--
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Sakira Uno, Hiroshi Fukuoka, Atsushi Suda and Ikurou Umezu, 渡辺航希，埋ノ江翔真，金堀洋輔，早川誠一，松田良信]
通讯作者：
渡辺航希，埋ノ江翔真，金堀洋輔，早川誠一，松田良信
酸化物ターゲットを用いたDC マグネトロンスパッタリングにおけるエネルギー分布関数測定の磁気フィルタ効果
氧化物靶材直流磁控溅射能量分布函数测量的磁过滤效应
氧化物靶材直流磁控溅射能量分布函数测量的磁过滤效应
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
作者：
[安元秀, 石場将希, 松田良信, 喜納淳, 山下敬彦]
通讯作者：
山下敬彦
共 24 条
Randomized phase 2 study of the efficacy of morphine for dyspnea in patients with interstitial lung disease
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批准号：17K15909
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项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额：$2.58万
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财政年份：2017
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负责人：Matsuda Yoshinobu
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依托单位：
海外基金