Thermochemical dry etching of noble and near-noble metals using supercritical carbon dioxide fluids
使用超临界二氧化碳流体对贵金属和近贵金属进行热化学干法蚀刻
基本信息
- 批准号:19K04466
- 负责人:
- 金额:$ 2.41万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份:2019
- 资助国家:日本
- 起止时间:2019-04-01 至 2022-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
期刊论文数量(24)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
超臨界流体半導体プロセス応用
超临界流体半导体工艺应用
- DOI:
- 发表时间:2019
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Gelloz;H. Fuwa;E. Kondoh;and L. Jin;近藤英一
- 通讯作者:近藤英一
Oxygen-assisted etching/removal of Pt in supercritical CO2 solutions
超临界 CO2 溶液中氧气辅助蚀刻/去除 Pt
- DOI:
- 发表时间:2019
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Takura Naoto;Lianhua Jin;Eiichi Kondoh and Bernard Gelloz;竹内翔太,金 蓮花,近藤英一,濵田聡美,小篠諒太,嶋 昇平,檜山浩國;田倉 直人,金 蓮花,近藤 英一,ジェローズ ベルナール;Eiichi Kondoh
- 通讯作者:Eiichi Kondoh
Application of Supercritical Carbon Dioxide Fluids to Advanced Metallization
超临界二氧化碳流体在先进金属化中的应用
- DOI:
- 发表时间:2020
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Eiichi Kondoh;Takeshi Ito;Eiichi Kondoh
- 通讯作者:Eiichi Kondoh
超臨界二酸化炭素流体中における薄膜堆積
超临界二氧化碳流体中的薄膜沉积
- DOI:
- 发表时间:2020
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Naoto Takura;Jin Lianhua;Kondoh Eiichi;Gelloz Bernard;近藤英一
- 通讯作者:近藤英一
Enhancing resistant starch content in brown rice using supercritical carbon dioxide processing
- DOI:10.1111/jfpe.13617
- 发表时间:2020-12
- 期刊:
- 影响因子:3
- 作者:M. Matsubara;Y. Nakato;Eiichi Kondo
- 通讯作者:M. Matsubara;Y. Nakato;Eiichi Kondo
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