Thermochemical dry etching of noble and near-noble metals using supercritical carbon dioxide fluids
Thermochemical dry etching of noble and near-noble metals using supercritical carbon dioxide fluids
使用超临界二氧化碳流体对贵金属和近贵金属进行热化学干法蚀刻
批准号：
19K04466
负责人：
Kondoh Eiichi
金额：
$2.41万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2019
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2019-04-01 至 2022-03-31
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Oxygen-assisted etching/removal of Pt in supercritical CO2 solutions
超临界 CO2 溶液中氧气辅助蚀刻/去除 Pt
超临界 CO2 溶液中氧气辅助蚀刻/去除 Pt
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Takura Naoto, Lianhua Jin, Eiichi Kondoh and Bernard Gelloz, 竹内翔太，金 蓮花，近藤英一，濵田聡美，小篠諒太，嶋 昇平，檜山浩國, 田倉 直人，金 蓮花，近藤 英一，ジェローズ ベルナール, Eiichi Kondoh]
通讯作者：
Eiichi Kondoh
超臨界流体半導体プロセス応用
超临界流体半导体工艺应用
超临界流体半导体工艺应用
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Gelloz, H. Fuwa, E. Kondoh, and L. Jin, 近藤英一]
通讯作者：
近藤英一
Application of Supercritical Carbon Dioxide Fluids to Advanced Metallization
超临界二氧化碳流体在先进金属化中的应用
超临界二氧化碳流体在先进金属化中的应用
DOI：
--
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Eiichi Kondoh, Takeshi Ito, Eiichi Kondoh]
通讯作者：
Eiichi Kondoh
超臨界二酸化炭素流体中における薄膜堆積
超临界二氧化碳流体中的薄膜沉积
超临界二氧化碳流体中的薄膜沉积
DOI：
--
发表时间：
2020
期刊：
Journal of the Society of Inorganic Materials, Japan
影响因子：
--
作者：
[Naoto Takura, Jin Lianhua, Kondoh Eiichi, Gelloz Bernard, 近藤英一]
通讯作者：
近藤英一
DOI：
10.1111/jfpe.13617
发表时间：
2020-12
期刊：
Journal of Food Process Engineering
影响因子：
3
作者：
[M. Matsubara;Y. Nakato;Eiichi Kondo]
通讯作者：
M. Matsubara;Y. Nakato;Eiichi Kondo
共 22 条
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