Thermochemical dry etching of noble and near-noble metals using supercritical carbon dioxide fluids

使用超临界二氧化碳流体对贵金属和近贵金属进行热化学干法蚀刻

基本信息

  • 批准号:
    19K04466
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.41万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2019
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2019-04-01 至 2022-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(24)
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科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
超臨界流体半導体プロセス応用
超临界流体半导体工艺应用
  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Gelloz;H. Fuwa;E. Kondoh;and L. Jin;近藤英一
  • 通讯作者:
    近藤英一
Oxygen-assisted etching/removal of Pt in supercritical CO2 solutions
超临界 CO2 溶液中氧气辅助蚀刻/去除 Pt
  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Takura Naoto;Lianhua Jin;Eiichi Kondoh and Bernard Gelloz;竹内翔太,金 蓮花,近藤英一,濵田聡美,小篠諒太,嶋 昇平,檜山浩國;田倉 直人,金 蓮花,近藤 英一,ジェローズ ベルナール;Eiichi Kondoh
  • 通讯作者:
    Eiichi Kondoh
Application of Supercritical Carbon Dioxide Fluids to Advanced Metallization
超临界二氧化碳流体在先进金属化中的应用
  • DOI:
  • 发表时间:
    2020
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Eiichi Kondoh;Takeshi Ito;Eiichi Kondoh
  • 通讯作者:
    Eiichi Kondoh
超臨界二酸化炭素流体中における薄膜堆積
超临界二氧化碳流体中的薄膜沉积
Enhancing resistant starch content in brown rice using supercritical carbon dioxide processing
  • DOI:
    10.1111/jfpe.13617
  • 发表时间:
    2020-12
  • 期刊:
  • 影响因子:
    3
  • 作者:
    M. Matsubara;Y. Nakato;Eiichi Kondo
  • 通讯作者:
    M. Matsubara;Y. Nakato;Eiichi Kondo
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  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Gelloz Bernard;Fuwa Hiroki;Kondoh Eiichi;Jin Lianhua
  • 通讯作者:
    Jin Lianhua
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  • DOI:
  • 发表时间:
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  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
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  • 通讯作者:
    重光賛志郎,瀧能翔太,牧野滋,瀧川道生,中嶋宏昌
Design of channeled spectropolarimeters
通道式分光旋光计的设计
  • DOI:
    10.1364/ao.455828
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    1.9
  • 作者:
    Jin Lianhua;Kondoh Eiichi;Iizuka Yuki;Otake Motoyuki;Gelloz Bernard;Hagen Nathan
  • 通讯作者:
    Hagen Nathan
Cu Wiring Fabrication by Supercritical Fluid Deposition for MEMS Devices
MEMS 器件的超临界流体沉积铜线制造
  • DOI:
    10.5772/intechopen.81636
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Ryo Ando;Takashi Komine;Shiori Sato;Shingo Kaneta;Yoshiaki Hara;深谷祐介,波多野陽,王道洪,高木伸之,呉亭;千葉貴裕,小峰啓史,高橋三郎;山田英幸,塚本直樹,王道洪,高木伸之,呉亭;千葉貴裕,小峰啓史,高橋三郎;澤田惇矢,高木伸之,王道洪,呉亭;小峰啓史;Kondoh Eiichi
  • 通讯作者:
    Kondoh Eiichi

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    2015
  • 资助金额:
    $ 2.41万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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  • 资助金额:
    $ 2.41万
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