背面入射中性子反射率法による省電力IC配線用銅めっき膜のその場観察構造評価

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令和4年度は本研究課題の遂行に必要となる『中性子反射率法によるめっき膜の成長過程のその場観察システム』の開発に向けた試料セルの製作及び制御システムの検討を進めた。以下にこれらの進捗と成果について述べる。本システムで使用する試料セルには通常のめっき槽に求められる化学的耐性、温度制御、めっき液均一化（攪拌、フローなど）などの特性のほかに、めっき液の使用量の削減、セル全体の密閉性の確保など放射線汚染抑制対策が必要になる。本年度はそれらの機能を備えた試料セルの開発に向けて、市販の小型めっき容器を前述の仕様を満たすように、また、J-PARC MLF BL17中性子反射率計への試料マウントなどの仕様に合わせて改造することにより製作した。また、その場観察を行うためのシステムの制御には上記のセルの温度制御やめっき液均一化のフロー制御などに加え、中性子照射中は放射線防御の観点から試料セル周辺にはアクセスできないことから必要となるリモート制御、および中性子反射率計と連動した制御システムが必要となる。これまでめっき液のフローに必要となるリレーシステム、MLFの機器安全の仕様に合致する温度調整器などの開発を進めていて、これらの個別制御と上述の試料セルをシステムとして連動させる開発を進めている。一方で、感染症対策の影響を受けて個別の機能の開発に時間差が生じており、遅れている機能の早期の開発と、これらの装置を連動させるシステムの開発を進めているところである。