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誘導結合磁化プラズマ高周波駆動による部分共鳴電子加熱増強の計算機シミュレーション

誘導結合磁化プラズマ高周波駆動による部分共鳴電子加熱増強の計算機シミュレーション
电感耦合磁化等离子体高频驱动部分谐振电子加热增强的计算机模拟
批准号:
24K07448
负责人:
菅原 広剛
金额:
$2.91万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2024
资助国家:
日本
项目状态:
未结题
起止时间:
2024-04-01 至 2027-03-31
关键词:

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衝撃電界重畳高周波プラズマによるフッ化炭素プロセス排ガス分解除害効率の計算機解析
  • 批准号:
    16760216
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 资助金额:
    $1.73万
  • 财政年份:
    2004
  • 负责人:
    菅原 広剛
  • 依托单位:
電力機器用絶縁気体混合相乗効果の微視的定量的計算機解析
  • 批准号:
    14750200
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 资助金额:
    $1.6万
  • 财政年份:
    2002
  • 负责人:
    菅原 広剛
  • 依托单位:
高耐力フルオロカーボン絶縁被覆のプラズマプロセスによる形成と損傷修復に関する研究
  • 批准号:
    12750233
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额:
    $1.34万
  • 财政年份:
    2000
  • 负责人:
    菅原 広剛
  • 依托单位:
衝撃電解重畳法によるフロン分解の大体積化および選択的分解反応促進に関する基礎研究
  • 批准号:
    10750201
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额:
    $1.47万
  • 财政年份:
    1998
  • 负责人:
    菅原 広剛
  • 依托单位: