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Tunable priodic configuration of microplasma dissipative solitons and application to plasmaphotonic cristals
微等离子体耗散孤子的可调周期配置及其在等离子体光子晶体中的应用
基本信息
- 批准号：18K03597
- 负责人：
- 金额：$ 2.75万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2018
- 资助国家：日本
- 起止时间：2018-04-01 至 2021-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（35）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Silicon wafer etching by pulsed high-power inductively coupled Ar/CF4 plasma with 150 kHz band frequency
- DOI：10.35848/1347-4065/ab75b7
- 发表时间：2020-05-01
- 期刊：
- 影响因子：1.5
- 作者：Saito, Yuma;Shibata, Kodai;Nakano, Shizuka
- 通讯作者：Nakano, Shizuka
LiNbO3レーザ干渉計における出力光波形の振幅変動とプラズマ環境下基板温度測定
等离子体环境下铌酸锂激光干涉仪输出光波形的振幅波动及衬底温度测量
- DOI：
- 发表时间：2019
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：西内祐哉;鈴木悠介;向川政治;高木浩一
- 通讯作者：高木浩一
CharacteristicsofHiPIMSDrivenbySpiker-sustainerPulsesforDLCDeposition
由Spiker-Sustainer脉冲驱动进行DLC沉积的HiPIMS的特性
- DOI：
- 发表时间：2019
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Koichi Takaki;Mutsumi Takahashi;Katsuyuki Takahashi;Seiji Mukaigawa and Ken Yukimura
- 通讯作者：Seiji Mukaigawa and Ken Yukimura
150 kHz帯大電力パルスバースト型誘導性結合プラズマのグローバル・モデル解析
150 kHz高功率脉冲串型电感耦合等离子体全局模型分析
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Kodai Shibata;Yuma Saito;Katsuyuki Takahashi;Seiji Mukaigawa;Koichi Takaki;Ken Yukimura;Hisato Ogiso and Shizuka Nakano;齋藤雄真,柴田晃大,高橋克幸,向川政治,高木浩一,行村 建
- 通讯作者：齋藤雄真,柴田晃大,高橋克幸,向川政治,高木浩一,行村 建
容量結合方式によるマイクロギャップ自己組織化誘電体バリア放電の可変構造制御
电容耦合法微间隙自组织介质阻挡放电的变结构控制
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：永田峻;Ji Mengran;内野喜一郎;向川政治,小國恭平,畠山大輝,横田敦也,高橋克幸,高木浩一
- 通讯作者：向川政治,小國恭平,畠山大輝,横田敦也,高橋克幸,高木浩一
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