GaAs epitaxial growth and lift-off from Si using a novel layered compound buffer
使用新型层状化合物缓冲剂进行 GaAs 外延生长和 Si 剥离
基本信息
- 批准号:18K04963
- 负责人:
- 金额:$ 2.58万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份:2018
- 资助国家:日本
- 起止时间:2018-04-01 至 2021-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
期刊论文数量(18)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Mechanical epitaxial lift off of GaAs epitaxial layers by using cleavage of In2Se3 layered structures
利用 In2Se3 层状结构的解理对 GaAs 外延层进行机械外延剥离
- DOI:
- 发表时间:2018
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Yu-Cian Wang;Nobuaki Kojima;Kei Kawakatsu;Akio Yamamoto;Yoshio Ohshita;Masafumi Yamaguchi
- 通讯作者:Masafumi Yamaguchi
2D-In2Se3を利用したSi(111)上GaAsエピ層の薄層剥離
使用 2D-In2Se3 在 Si(111) 上薄层剥离 GaAs 外延层
- DOI:
- 发表时间:2019
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:小島 信晃;Wang Yu-Cian;川勝 桂;山本 暠勇;大下 祥雄;山口 真史
- 通讯作者:山口 真史
Epitaxial GaAs Lift Off via III-VI Layered Compounds
通过 III-VI 层状化合物外延 GaAs 剥离
- DOI:
- 发表时间:2019
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Nobuaki Kojima;Yu-Cian Wang;Kei Kawakatsu;Akio Yamamoto;Yoshio ohshita;Masafumi Yamaguchi
- 通讯作者:Masafumi Yamaguchi
XRD Pole Figure Analysis of In2Se3Zinc-Blende Like (ZBL) Van der Waals Template for Epitaxial GaAs Lift Off
用于外延 GaAs 剥离的 In2Se3Zinc-Blende Like (ZBL) 范德华模板的 XRD 极图分析
- DOI:10.1109/pvsc.2018.8547396
- 发表时间:2018
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Nobuaki Kojima;Yu-Cian Wang;Kei Kawakatsu;Yoshio Ohshita;Masafumi Yamaguchi
- 通讯作者:Masafumi Yamaguchi
Epitaxial GaAs Lift-off from Si(111) Wafer via 2D-GaSe Buffer Layer
通过 2D-GaSe 缓冲层从 Si(111) 晶圆上剥离 GaAs 外延
- DOI:
- 发表时间:2020
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Nobuaki Kojima;Yu-Cian Wang;Yoshio Ohshita;Masafumi Yamaguchi
- 通讯作者:Masafumi Yamaguchi
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