GaAs epitaxial growth and lift-off from Si using a novel layered compound buffer

使用新型层状化合物缓冲剂进行 GaAs 外延生长和 Si 剥离

基本信息

  • 批准号:
    18K04963
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.58万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2018
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2018-04-01 至 2021-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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专利数量(0)
Mechanical epitaxial lift off of GaAs epitaxial layers by using cleavage of In2Se3 layered structures
利用 In2Se3 层状结构的解理对 GaAs 外延层进行机械外延剥离
  • DOI:
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Yu-Cian Wang;Nobuaki Kojima;Kei Kawakatsu;Akio Yamamoto;Yoshio Ohshita;Masafumi Yamaguchi
  • 通讯作者:
    Masafumi Yamaguchi
2D-In2Se3を利用したSi(111)上GaAsエピ層の薄層剥離
使用 2D-In2Se3 在 Si(111) 上薄层剥离 GaAs 外延层
  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    小島 信晃;Wang Yu-Cian;川勝 桂;山本 暠勇;大下 祥雄;山口 真史
  • 通讯作者:
    山口 真史
Epitaxial GaAs Lift Off via III-VI Layered Compounds
通过 III-VI 层状化合物外延 GaAs 剥离
XRD Pole Figure Analysis of In2Se3Zinc-Blende Like (ZBL) Van der Waals Template for Epitaxial GaAs Lift Off
用于外延 GaAs 剥离的 In2Se3Zinc-Blende Like (ZBL) 范德华模板的 XRD 极图分析
Epitaxial GaAs Lift-off from Si(111) Wafer via 2D-GaSe Buffer Layer
通过 2D-GaSe 缓冲层从 Si(111) 晶圆上剥离 GaAs 外延
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