光コムレーザから創出する「光のものさし」バーチャル絶対スケールによる絶対位置計測
光コムレーザから創出する「光のものさし」バーチャル絶対スケールによる絶対位置計測
批准号:
23K17713
负责人:
清水 裕樹
金额:
$3.99万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
财政年份:
2023
资助国家:
日本
项目状态:
未结题
起止时间:
2023-06-30 至 2026-03-31
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会议论文
その場波面制御で自在に操る干渉定在波によるサブμm級自由微細構造の大面積露光創成
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批准号:23K22641
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额:$3.08万
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财政年份:2024
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负责人:清水 裕樹
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依托单位:
その場波面制御で自在に操る干渉定在波によるサブμm級自由微細構造の大面積露光創成
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批准号:22H01370
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额:$11.15万
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财政年份:2022
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负责人:清水 裕樹
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依托单位:
次世代の超精密ナノ計測を実現する光ナノグリッド基準の自律校正
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批准号:16F16367
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项目类别:Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额:$1.41万
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财政年份:2016
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负责人:清水 裕樹
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依托单位: