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その場波面制御で自在に操る干渉定在波によるサブμｍ級自由微細構造の大面積露光創成

その場波面制御で自在に操る干渉定在波によるサブμｍ級自由微細構造の大面積露光創成
使用可通过原位波前控制自由操纵的干涉驻波创建亚微米级自由精细结构的大面积曝光
批准号：
23K22641
负责人：
清水 裕樹
金额：
$3.08万
依托单位：
Hokkaido University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2024
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2024-02-28 至 2025-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-23K22641/
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光コムレーザから創出する「光のものさし」バーチャル絶対スケールによる絶対位置計測
  • 批准号：
    23K17713
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
  • 资助金额：
    $3.99万
  • 财政年份：
    2023
  • 负责人：
    清水 裕樹
  • 依托单位：
    Hokkaido University
その場波面制御で自在に操る干渉定在波によるサブμｍ級自由微細構造の大面積露光創成
  • 批准号：
    22H01370
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $11.15万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    清水 裕樹
  • 依托单位：
    Hokkaido University
次世代の超精密ナノ計測を実現する光ナノグリッド基準の自律校正
  • 批准号：
    16F16367
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $1.41万
  • 财政年份：
    2016
  • 负责人：
    清水 裕樹
  • 依托单位：
    Tohoku University