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Plasma-surface interaction in plasma-enhanced atomic-layer deposition of two-dimensional materials

Plasma-surface interaction in plasma-enhanced atomic-layer deposition of two-dimensional materials
二维材料等离子体增强原子层沉积中的等离子体-表面相互作用
批准号：
23KF0049
负责人：
浜口 智志
金额：
$1.54万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2023
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2023-04-25 至 2025-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-23KF0049/
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Nonequilibrium surface reactions of plasma-assisted atomic layer processes
  • 批准号：
    21H04453
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额：
    $26.96万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    浜口 智志
  • 依托单位：
    Osaka University
大気圧プラズマによるバイオ表面制御機構の多階層シミュレーション解析
  • 批准号：
    15H02033
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额：
    $10.07万
  • 财政年份：
    2015
  • 负责人：
    浜口 智志
  • 依托单位：
    Osaka University
炭素系材料のプラズマ表面相互作用における水素効果
  • 批准号：
    10F00717
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $1.22万
  • 财政年份：
    2010
  • 负责人：
    浜口 智志
  • 依托单位：
    Osaka University
荷電ナノバブルの統計力学と輸送解析
  • 批准号：
    18654101
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额：
    $2.11万
  • 财政年份：
    2006
  • 负责人：
    浜口 智志
  • 依托单位：
    Osaka University