炭素系材料のプラズマ表面相互作用における水素効果
氢对碳基材料等离子体表面相互作用的影响
基本信息
- 批准号:10F00717
- 负责人:
- 金额:$ 1.22万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for JSPS Fellows
- 财政年份:2010
- 资助国家:日本
- 起止时间:2010 至 2011
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
本研究は、炭素系材料とプラズマの相互作用に関して、介在する水素の効果に注目することにより、プラズマ物質相互作用の科学的理解を深めることを目的としている。本研究では、プラズマを模擬するイオンビーム・ラジカルビームを用いることにより、より正確にプラズマと物質の相互作用を定量的に決定する。具体的には、核融合炉プラズマ対向材料におけるトリチウム蓄積(トリチウムリテンション)の基礎研究(水素・重水素を用いた模擬実験)および産業用応用範囲のひろいダイヤモンド状炭素やダイヤモンド薄膜の堆積プロセスに的を絞って研究し、プラズマ条件と水素・重水素蓄積量と深さ方向プロファイルの関係やプラズマCVDの放電条件とダイヤモンド系薄膜の物性値の関係を定量的に明らかにする。本年度は、本研究プロジェクトで構築したTPD(Temperature-Programmed Desorption/TDS Thermal Desorption Spectroscopy)実験システムを用いて、シリコン基板中へ水素イオンの直接照射や、水素原子とアルゴンイオンの同時照射、水素イオンとアルゴンイオンとの同時照射など、異なる条件下により入射した際の材料中の水素蓄積量と結合状態を計測・比較した。これらの実験の一部は、プロバンス大学(フランス)との共同研究により、プロバンス大学にて行われた。その結果、水素イオンや水素原子は、単独照射より、アルゴンイオンと同時に照射するほうが蓄積量が大きいことが確認された。
This study is aimed at deepening the scientific understanding of the interaction between carbon and carbon materials. In this study, we aim to determine the exact amount of material interactions that can occur in a simulated environment. Specific nuclear fusion furnace, nuclear fusion furnace A Basic Study on the Development of a New System (Simulation of the use of water element and heavy element) and industrial application of carbon film deposition conditions, conditions, accumulation of water element and heavy element, depth, direction, discharge conditions of CVD and quantitative relationship between physical properties of carbon film. This year, we constructed TPD(Temperature-Programmed Desorption/TDS Thermal Desorption Spectroscopy) to measure and compare the water accumulation and binding state in the incident materials under different conditions. A part of this research is conducted by the university. The results show that the accumulation of water element in the solution is large, and the accumulation of water element in the solution is large.
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Hydrogen trapping enhanced by ion induced damages in silicon
硅中离子诱导损伤增强氢捕获
- DOI:
- 发表时间:2011
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:張雅素、焦爽、芳賀信彦;ほか;Timothy J.Stasevich;C.Thomas
- 通讯作者:C.Thomas
Enhancement of hydrogen trapping by heavier ion bombardment in silicon (111) surfaces
通过硅(111)表面的重离子轰击增强氢捕获
- DOI:
- 发表时间:2011
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Jiao S;Tsutani K;Haga N;C.Thomas
- 通讯作者:C.Thomas
Trapping of hydrogen in silicon near the surface resulting from simultaneous bombardment of argon and hydrogen ions
由于氩离子和氢离子的同时轰击,氢被捕获在靠近表面的硅中
- DOI:
- 发表时间:2012
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:焦爽(Jiao S);緒方直史;中原康雄;張雅素;津谷喜一郎;芳賀信彦;C.Thomas
- 通讯作者:C.Thomas
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