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Basic study for development of inch-scale diamond wafers

Basic study for development of inch-scale diamond wafers
英寸级金刚石晶片开发基础研究
批准号：
26600096
负责人：
Tokuda Norio
金额：
$2.5万
依托单位：
Kanazawa University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2017-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-26600096/
关键词：
ダイヤモンド結晶成長

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革新的パワーデバイスの実現に向けた半導体ダイヤモンドの研究
用于实现创新功率器件的半导体金刚石研究
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [伊藤　槙哉, 叶田　翔平, 松本　翼, 徳田　規夫, 猪熊　孝夫, 徳田規夫, 徳田規夫]
通讯作者： 徳田規夫
球型共振器構造MPCVDによる ダイヤモンド(111)膜の高速成長
球腔结构MPCVD高速生长金刚石(111)薄膜
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [馬場 一気, 金田 大輝, 渡邊 俊介, 徳田 規夫, 猪熊 孝夫]
通讯作者： 猪熊 孝夫
マイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド膜の成長
微波等离子体CVD法生长金刚石薄膜
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [伊藤　槙哉, 叶田　翔平, 松本　翼, 徳田　規夫, 猪熊　孝夫, 徳田規夫]
通讯作者： 徳田規夫
Surface roughening of homoepitaxial diamond (111) films by oxygen addition
加氧对同质外延金刚石（111）薄膜进行表面粗糙化
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [Ikki Baba, Daiki Kanata, Shunsuke Watanabe, Tohiharu Makino, Masahiko Ogura, Satoshi Yamasaki2, Norio Tokuda, Takao Inokuma]
通讯作者： Takao Inokuma
共 18 条
    Development of innovative synthesis process of ammonia using diamond
    • 批准号：
      17K18980
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • 资助金额：
      $4.16万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      Tokuda Norio
    • 依托单位：
      Kanazawa University
    Low-loss vertical-type diamond power MOSFET
    • 批准号：
      17H02786
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $11.56万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      Tokuda Norio
    • 依托单位：
      Kanazawa University
    海外基金