Research on the high spatial resolution dynamic characteristics profiling technology using atomic force microscope
Research on the high spatial resolution dynamic characteristics profiling technology using atomic force microscope
原子力显微镜高空间分辨率动态特性分析技术研究
批准号：
15K13827
负责人：
Kometani Reo
金额：
$2.5万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2015
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-04-01 至 2017-03-31
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東京大学大学院工学系研究科 機械工学専攻 米谷研究室
东京大学大学院工学研究科机械工学科米谷实验室
东京大学大学院工学研究科机械工学科米谷实验室
DOI：
--
发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
Gold-assisted chemical etching of silicon dioxide technique and application for micro-pattering
金辅助二氧化硅化学刻蚀技术及其在微图案化中的应用
金辅助二氧化硅化学刻蚀技术及其在微图案化中的应用
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[T. Murakami, E. Maeda, R. Kometani]
通讯作者：
R. Kometani
FIB/EB複合リソグラフィーによるNEB-22レジストからのカーボンナノメカニカル構造の作製
利用 FIB/EB 组合光刻法从 NEB-22 抗蚀剂制备碳纳米机械结构
利用 FIB/EB 组合光刻法从 NEB-22 抗蚀剂制备碳纳米机械结构
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[湯浅 勇貴, 前田 悦男, 米谷 玲皇]
通讯作者：
米谷 玲皇
DOI：
10.1116/1.4938483
发表时间：
2016-01-01
期刊：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
影响因子：
1.4
作者：
[Baba, Tatsuya, Lee, Yaerim, Takigawa, Ryo]
通讯作者：
Takigawa, Ryo
Control of upward growth on the three-dimensional nanostructure fabrication by focused-ion-beam chemical vapor deposition
聚焦离子束化学气相沉积三维纳米结构向上生长的控制
聚焦离子束化学气相沉积三维纳米结构向上生长的控制
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[M. Sekine, E. Maeda, R. Kometani]
通讯作者：
R. Kometani
共 8 条
Nanooptoelectromechanical systems for the molecular sensing
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批准号：17H03198
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额：$11.07万
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财政年份：2017
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负责人：Kometani Reo
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依托单位：
Fabrication of nanosystem for wavelength detection
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批准号：26709005
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项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
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资助金额：$13.15万
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财政年份：2014
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负责人：Kometani Reo
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依托单位：