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Raman spectrum analysis for measuring temperature and material property on the nano-machined surface by short pulse laser
短脉冲激光拉曼光谱分析测量纳米加工表面的温度和材料性能
基本信息
- 批准号：26630027
- 负责人：
- 金额：$ 2.5万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
- 财政年份：2014
- 资助国家：日本
- 起止时间：2014-04-01 至 2016-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（3）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Analysis of chemical reaction in Cu-CMP with reactive nanoparticles based on Raman spectra enhanced by surface plasmon
基于表面等离子体增强拉曼光谱分析 Cu-CMP 与活性纳米粒子的化学反应
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Masafumi ASAHI;Yasuhiro TAKAYA;Masaki MICHIHATA
- 通讯作者：Masaki MICHIHATA
表面増強ラマン分光法による反応性ナノ粒子を用いたCu-CMPの化学的研磨作用分析
使用表面增强拉曼光谱分析使用反应性纳米粒子的 Cu-CMP 的化学抛光作用
- DOI：
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：松本崇;藤原弘;宮本博之, 田中達也;旭真史，高谷裕浩，水谷康弘
- 通讯作者：旭真史，高谷裕浩，水谷康弘
表面増強ラマン分光法による水酸化フラーレンを用いたCu-CMPの化学反応プロセス解析―表面増強ラマン分光装置の検証―
使用表面增强拉曼光谱分析使用氢氧化富勒烯的 Cu-CMP 化学反应过程 - 表面增强拉曼光谱仪的验证 -
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Masafumi ASAHI;Yasuhiro TAKAYA;Masaki MICHIHATA;旭真史，高谷裕浩，水谷康弘
- 通讯作者：旭真史，高谷裕浩，水谷康弘
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Takaya Yasuhiro其他文献
Scanning dimensional measurement using laser-trapped microsphere with optical standing-wave scale
使用激光捕获微球和光学驻波标尺进行扫描尺寸测量
- DOI：
10.1117/1.oe.56.6.064103 - 发表时间：
2017 - 期刊：
- 影响因子：1.3
- 作者：
Michihata Masaki;Ueda Shin-ichi;Takahashi Satoru;Takamasu Kiyoshi;Takaya Yasuhiro - 通讯作者：
Takaya Yasuhiro
曲げ加工された鋼板を用いた免震構造用履歴型ダンパーの変形性能 その２繰返し水平加力実験結果
弯曲钢板隔震结构滞回式阻尼器变形性能第2部分重复水平加载试验结果
- DOI：
- 发表时间：
2019 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Uenohara Tsutomu;Mizutani Yasuhiro;Takaya Yasuhiro;畑中祐紀 - 通讯作者：
畑中祐紀
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Real time and localized analysis of pulse laser fine-machining mechanism based on Raman scattering with optical frequency comb
基于光频梳拉曼散射的脉冲激光精加工机构实时局部分析
- 批准号：
19K21919 - 财政年份：2019
- 资助金额：
$ 2.5万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
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- 批准号：
19H02042 - 财政年份：2019
- 资助金额：
$ 2.5万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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用于分析加工现象中原子团簇的计量装光子探针的基础研究
- 批准号：
17K18828 - 财政年份：2017
- 资助金额：
$ 2.5万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
Study on Inverse Scattering Method using Optical Frequency Comb for Measuring Surface Topography with Wide Range of Spatial Frequency
光频梳逆散射法宽空间频率范围表面形貌测量研究
- 批准号：
16H04246 - 财政年份：2016
- 资助金额：
$ 2.5万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Laser micro-machining using photonic nanojets controlled by in-situ measurement
使用原位测量控制的光子纳米喷射进行激光微加工
- 批准号：
24246028 - 财政年份：2012
- 资助金额：
$ 2.5万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)