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Raman spectrum analysis for measuring temperature and material property on the nano-machined surface by short pulse laser

Raman spectrum analysis for measuring temperature and material property on the nano-machined surface by short pulse laser
短脉冲激光拉曼光谱分析测量纳米加工表面的温度和材料性能
批准号：
26630027
负责人：
Takaya Yasuhiro
金额：
$2.5万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2016-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-26630027/
关键词：
超短パルスレーザー加工ラマン散乱計測ナノ微細加工ナノ粒子ナノ局所界面局在型表面プラズモン伝搬型表面プラズモン超微細レーザー加工計測レーザーアブレーション電子増強ラマン散乱効果

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Analysis of chemical reaction in Cu-CMP with reactive nanoparticles based on Raman spectra enhanced by surface plasmon
基于表面等离子体增强拉曼光谱分析 Cu-CMP 与活性纳米粒子的化学反应
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [Masafumi ASAHI, Yasuhiro TAKAYA, Masaki MICHIHATA]
通讯作者： Masaki MICHIHATA
表面増強ラマン分光法による反応性ナノ粒子を用いたCu-CMPの化学的研磨作用分析
使用表面增强拉曼光谱分析使用反应性纳米粒子的 Cu-CMP 的化学抛光作用
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [松本崇, 藤原弘, 宮本博之,　田中達也, 旭真史，高谷裕浩，水谷康弘]
通讯作者： 旭真史，高谷裕浩，水谷康弘
表面増強ラマン分光法による水酸化フラーレンを用いたCu-CMPの化学反応プロセス解析―表面増強ラマン分光装置の検証―
使用表面增强拉曼光谱分析使用氢氧化富勒烯的 Cu-CMP 化学反应过程 - 表面增强拉曼光谱仪的验证 -
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [Masafumi ASAHI, Yasuhiro TAKAYA, Masaki MICHIHATA, 旭真史，高谷裕浩，水谷康弘]
通讯作者： 旭真史，高谷裕浩，水谷康弘
Real time and localized analysis of pulse laser fine-machining mechanism based on Raman scattering with optical frequency comb
  • 批准号：
    19K21919
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
  • 资助金额：
    $4.08万
  • 财政年份：
    2019
  • 负责人：
    Takaya Yasuhiro
  • 依托单位：
    Osaka University
Study on Nano-Surface Integrity Measurement of Machined Glass Component using Entangled Photon Probe
  • 批准号：
    19H02042
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $11.07万
  • 财政年份：
    2019
  • 负责人：
    Takaya Yasuhiro
  • 依托单位：
    Osaka University
Fundamental study on Metrology dressed photon probe for analyzing atomic clusters in machining phenomena
  • 批准号：
    17K18828
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
  • 资助金额：
    $4.08万
  • 财政年份：
    2017
  • 负责人：
    Takaya Yasuhiro
  • 依托单位：
    Osaka University
Study on Inverse Scattering Method using Optical Frequency Comb for Measuring Surface Topography with Wide Range of Spatial Frequency
  • 批准号：
    16H04246
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $11.07万
  • 财政年份：
    2016
  • 负责人：
    Takaya Yasuhiro
  • 依托单位：
    Osaka University