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金属および半導体人工格子薄膜断面の高分解能電顕観察用超薄切片作製技術の開発

金属和半导体人工晶格薄膜截面高分辨率电镜超薄切片制备技术开发

基本信息

批准号：
59850107
负责人：
市野瀬英喜
金额：
$ 7.1万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
财政年份：
1984
资助国家：
日本
起止时间：
1984 至 1985
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は、金属および半導体人工格子薄膜の断面構造を高分解能電子顕微鏡で観察するための10nm以下の切片を内部構造を破壊することなしに作製する技術を、超ミクロトーム法によって開発する事を目的としている。成否は実際に高分解能電顕観察を行って確認した。研究は、金属蒸着膜による予備実験からはじめ、金属人工格子さらに半導体人工格子の順で進められた。結晶性の金属蒸着膜においては、包埋剤にQuatol812を使用し、刃先角度の小さなダイヤモンドナイフを使うことにより、コラム構造のトポロジカルな情報および各部における原子的構造迄を観察できる切片が得られた。非晶質構造の金属蒸着膜は、硬度がやや高いので、ナイフの刃先角度60度のものを使用する事により、極めて優れた切片を得る事ができた。その結果、スパッタ法による非晶質膜中のコラム構造が、組成の偏りに対応している事およびコラムの境界部に、微細な結晶粒が偏在している事などが突きとめられた。予備実験段階ですでに予想外の成果を得た。本実験はCo-Sb人工格子からはじめた。各種の包埋剤およびいくつかの刃先角度の異るダイヤモンド刃を試験した結果:予備実験で使用したものが最良の結果をもたらす事が判明した。高分解能電顕観察によるモニターでは、観察できた事自体世界初の成果であったが、界面が原子的尺度で平滑ではない事や、各属(相)が高圧相でできている事など、世界をリードする知見が多く得られて、本手法が、高分解能電顕による断面観察用切片作製技術としてすぐれている事を裏づけた。Fe-Mnといったより硬い材料でも同様な結果が得られた。半導体人工格子はGaAs/AlAs人工格子について実験を行った。へき開性のつよい材料なので、切るというよりは極薄にへき開するといった方が適切であるが、イオン研磨法などに比べ歩留りはやや落ちるものの照射損傷に害されない美しい写真が撮れる切片が作れる事が判った。

In this study, the cross-section of the metal metal semi-solid artificial lattice thin film was made by high-resolution micro-electron micrographs. Under the 10nm, the internal micrographs were used to analyze the mechanical properties of the films, and the results were analyzed by the method of scanning electron microscopy. Do you want to check the bank's confirmation of high decomposition energy? The research, the metal steaming film coating, the metal artificial lattice, the metal artificial lattice, the semi-solid artificial grid, the metal artificial lattice, the metal artificial lattice and the semi-solid artificial grid. The results show that the crystalline metal coating film is sensitive, the embedded Quatol812 film is used, and the blade angle is small. The edge angle is small. The edge angle is small. The metal film is used to make the metal film. Amorphous metal steaming film, high hardness, high edge angle, 60-degree cutting edge, high-hardness, high-hardness, high The results show that in the amorphous film, the temperature field is very high, the composition is very high, the temperature is very high, the temperature is very high, and the temperature is very high in the amorphous film. If you don't want to do so, you will get the result. This article is about Co-Sb artificial grid. All kinds of embedded devices are used to determine the results of the test results: the best results can be obtained by using the best results. The high decomposition energy electronic equipment (HDS) detects the environmental impact of the whole world, the initial results of the world, the smooth scale of the interface atoms, the high resolution of each phase, the high temperature of the world, the knowledge of the world, this technique, The high decomposition energy electron microscope cross-section inspection uses the slice to make the technical and technical equipment. The results of the Fe-Mn test show that the hard materials are the same as the results. Half-body artificial grid, GaAs/AlAs artificial grid, artificial On the basis of the material, the material, the material and the material.