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大出力UVエキシマーレーザー用ファラデー回転子の開発

高功率紫外准分子激光器法拉第旋转器的研制

基本信息

批准号：
60840005
负责人：
植田憲一
金额：
$ 5.44万
依托单位：
The University of Electro-Communications
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
财政年份：
1985
资助国家：
日本
起止时间：
1985 至 1986
项目状态：
已结题

项目摘要

UVファラデー回転子の開発研究は大きく分けて、大口径UVファラデー回転子および薄膜偏光子の開発と、UVファラデー回転子のKrFレーザーへの応用に分けられる。紫外線用薄膜材料の吸収係数の測定から蒸着技術の開発にいたる幅広い基礎的研究と、大電流高強度磁界発生装置の設計製作を前者は含み、後者には新しいレーザー制御技術としての偏光回転パルス列発生などを含んでいる。以下に研究成果の概要を列挙する。1)低損失で高い損傷強度を有する薄膜偏光子を製作するために、誘電体薄膜の光吸収係数を光音影効果を利用して測定し膜材料を決定した。我々の開発した測定法は1.5波長厚さの光学薄膜吸収をk<10^<-4>の低吸収まで定量計測が可能で、従来計測の200倍の感度を実現した。2)Sc_2O_3/Na_3AlF_3の25層構成で偏光子を製作し、入射角60度で直接偏光度1:200以上、透過率90%以上の性能を確認した。研究開発当初の透過率13%から大きく進歩し、レーザー損傷強度も2J/cm^2以上に改善された。3)合成石英の光学的均質性の向上を図り、10^<-5>以上を実現したい。4)大電流コイル、全固体素子磁場電源を製作し、2%以下の一様性で5kGを発生した。5)ファラデー回転性能を測定し、11x11cmの大口径ビームに対し、KrFレーザー波長である248nmにおいてレーザー用1方向伝播素子としての性能を確認した。6)共振器内部にファラデー回転子を挿入し、外部から短パルス直線偏光レザーを注入して、"偏光回転多重パルス発生"を行う新しいレーザー発振方式を開発し、10J出力レーザーから10nsパルスのパルス列を得ることに成功した。

The research on the development of UV light emitting diodes includes the development of large aperture UV light emitting diodes and thin film polarizers, and the development of UV light emitting diodes. The measurement of absorption coefficient of thin film material for ultraviolet ray includes basic research on the development of evaporation technology and design and manufacture of high-current high-intensity magnetic field generator. A summary of the results of the study is presented below. 1)Low loss, high damage intensity, thin film polarizer fabrication, dielectric thin film optical absorption coefficient, optical acoustic effect, film material determination The measurement method of optical thin films with a thickness of 1.5 wavelength and a low absorption k <10 ^is possible, and a sensitivity of 200 times is realized.<-4>2) The properties of Sc_2O_3/Na_3AlF_3 with 25-layer structure, polarizer fabrication, incident angle of 60 °, direct polarization of 1:200 or more, transmittance of 90% or more were confirmed. At the beginning of the study, the transmittance of 13% was greatly improved, and the damage intensity was improved above 2 J/cm^2. 3)The optical homogeneity of synthetic quartz is higher than 10 ^.<-5>4)High current, all-solid-state electron magnetic field power supply production, less than 2% of the characteristics of 5 kG 5) The performance of the optical fiber was measured, and the performance of the optical fiber was confirmed with the wavelength of 248 nm and the wavelength of 11 x 11 cm. 6)The resonator has a new mode of vibration generation, which is developed by the internal polarization mirror, the external polarization mirror and the linear polarization mirror. The output of 10 J and the 10 ns polarization mirror are successfully developed.