免疫検査システム用SQUIDの安定的な作製プロセスの確立

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研究目的:本研究実施前まで、高温超伝導SQUID磁気センサの安定的な作製を実現する上で必要不可欠な作製プロセスが充分に確立されておらず、高性能化は容易ではなかった。本研究では、高性能な免疫検査システム用高温超伝導SQUID磁気センサの安定的な作製プロセスの確立を目的として、高温超伝導SQUID磁気センサの作製プロセスのデータベース化と作製装置の自動制御を行った。研究方法:本研究は、九州大学超伝導システム科学研究センターにて、下記のような計画で研究を実施した。1データベース化当センターでは、高温超伝導SQUID磁気センサ作製プロセスの数百に上る記録が紙で保存されている。このアナログ的な記録を下記の方法でデータベース化を行った。(1)コンピュータとデータベース用ソフトウェアを使用し、最適なデータベース化の方法を確立した。(2)アナログ的な記録をデータベースに入力しデジタル記録に変換した。(3)上記のデジタル記録を解析し最適な作製プロセスを確立した。2自動制御当センター所有の高温超伝導SQUID磁気センサ作製装置の自動制御を下記の方法で行った。(1)自動制御に必要なプログラムの作成を行った。(2)作製装置の自動制御を行い、データベース化により確立された最適な作製プロセスで高温超伝導SQUID磁気センサを作製した。以上を行った上で、本研究におけるまとめと成果報告を行った。研究成果:本研究におけるデータベース化により高温超伝導SQUID磁気センサの最適な作製プロセスを確立した。また、自動制御により高温超伝導SQUID磁気センサを安定的に作製することが可能となった。今後も作成プロセスをデータベースに追加し、自動制御のプログラムを改善していくことにより、より安定的な作製が可能となる。また、本研究によりセンサ加工プロセスの改善によって、高性能化が可能であるという新しい課題も見つかったため、今後も継続して研究を行っていく必要がある。