权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

超微細ナノ結晶シリコンの表面酸化及び表面空化

超细纳米晶硅的表面氧化和表面空洞

基本信息

批准号：
12750261
负责人：
畑谷成郎
金额：
$ 1.41万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
2000
资助国家：
日本
起止时间：
2000 至 2001
项目状态：
已结题

项目摘要

研究者らはこれまでに、デジタルプラズマプロセス(核形成と核の結晶成長を時間的に分離するプロセス)により、粒径のばらつきを抑えたナノ結晶シリコンを作製することに成功している。このナノ結晶シリコンを、単電子デバイスへ応用すること、ナノ結晶間の相互作用を利用した新材料開発へと繋げていくことを視野に入れ、ナノ結晶の粒径をさらに均一に制御すること、及び良質な絶縁膜を制御性よく形成することを研究の目的としていた。この目的の達成のためには、表面の酸化及び窒化の進行を精密にコントロールし、酸化反応及び窒化反応に自己停止機構が働く条件を精密に見いだし、良質な絶縁膜を形成すること、及びナノ結晶シリコンのさらなる粒径均一化を図るためにはどのような結晶条件が必要とされるのかを精密に求める必要があった。平成12年度においては、この条件を見いだすために必要な酸素及び窒素圧力、基板温度、反応時間などといった成長条件に関するデータをコンピュータに取り込み精密にモニタリングするシステムを整備した。平成13年度は整備された装置を用いて条件の割り出しを行う予定であったが、研究者が研究期間の半ばに退職したため科学研究費補助金による当該研究を廃止した。なお整備された装置は東京工業大学・量子効果エレクトロニクス研究センターでの関連研究に引き継がれている。

The researchers tested the temperature, the particle size, the temperature, the particle size, the temperature, the temperature and the temperature. X-ray diffraction (XRD), thermal conductivity testing (SEM), thermal mechanical testing (SEM), and intercrystalline interaction (ISI) are based on the use of new materials to determine the temperature field temperature, the particle size distribution, and the mechanical properties of the thin film. The purpose of this study is to carry out precision heating, acidizing and asphyxiation in the process of precision heating, acidizing and asphyxiation. And the results show that the particle size is uniform, and the crystal conditions are necessary to obtain the necessary precision. In Pingcheng, the necessary acid and asphyxiant force, substrate temperature and time temperature are required for the development of high-temperature equipment in Pingcheng. In the 13th year of Pingcheng, the equipment, conditions, conditions In order to improve the quality of the equipment, Beijing University of Technology, Beijing University of Technology, Beijing University of Technology.