课题基金 / 基金详情

フェムト秒レーザーパルスによる有機固体の階段状エッチング

フェムト秒レーザーパルスによる有機固体の階段状エッチング
通过飞秒激光脉冲逐步蚀刻有机固体
批准号：
13874089
负责人：
増原 宏
金额：
$1.28万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2001
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2001 至 2002
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-13874089/
关键词：
階段状エッチング離散的エッチングフェムト病レーザーアブレーション有機薄膜高分子フィルム光干渉多光子吸収高速分光フェムト秒アブレーション多重記録有機アモルファスフィルムトリフェニルアミン高速分子顕微光散乱計測

项目摘要

项目成果

増原 宏的其他基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
単発のフェムト秒レーザー照射によって、低分子および高分子アモルファスフィルムの表面に100nmオーダーで階段状に変化する穴あけ加工が可能であること、さらに階段1ステップの高さは照射レーザー光強度に依らず一定で、階段の数が強度とともに離散的に増加することを明らかにした。階段1ステップの高さや階段の数と、フィルムの膜厚やフェムト秒レーザーの波長および照射回数徒の関係を詳細に調べた結果、階段状エッチングが起こるためには、フィルムの膜厚が10μm程度以下であり、またレーザー波長においてフィルムの線形光吸収が無いもしくは非常に小さいことが必要であることがわかった。さらに階段状エッチングに至る主な要因は、フィルム内部でのフェムト秒パルス光の干渉によってフィルムの深さ方向に形成する光強度分布〔干渉縞〕であることを明らかにした。これまで広くレーザー加工に使われてきたナノ秒レーザーではこのような階段状エッチングが起こらない理由は、電子状態や形状変化がレーザー照射時間内に起こるためフィルムの屈折率が時間とともに変化するため、ナノ秒パルスの干渉縞が形成されないと考えられる。すなわちフェムト秒パルスによって極めて短時間にフィルムを励起することによって初めて起きる現象である。また、光の干渉が重要であるという結果は、階段状エッチングという新しいレーザーエッチング現象を、有機固体に限らず無機ガラスなどの様々な透明薄膜の表面加工にも応用できることを強く示唆している。
期刊论文(9)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
朝日剛, 増原宏: "色素薄膜のフェムト秒レーザー加工と転写"機能材料. 23. 5-15 (2003)
Tsuyoshi Asahi、Hiroshi Masuhara：“飞秒激光加工和染料薄膜转移”功能材料。 23. 5-15 (2003)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
T.Lippert, J.T.Dickinson, M.Hauer, G.Kopitkovas, S.C.Langford, H.Masuhara, O.Nuyken, J.Robert, H.Salmio, T.Tada, K.Tomita, A.Wokaun: "Polymers Designed for Laser Ablation-influence of Photochemical Properties"Applied Surface Science. 197. 746-756 (2002)
T.Lippert、J.T.Dickinson、M.Hauer、G.Kopitkovas、S.C.Langford、H.Masuhara、O.Nuyken、J.Robert、H.Salmio、T.Tada、K.Tomita、A.Wokaun：“聚合物设计用于
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
朝日 剛, 増原 宏: "有機色素薄膜のフェムト秒レーザーアブレーション転写"放射線化学. 73. 17-21 (2002)
Tsuyoshi Asahi、Hiroshi Masuhara：“有机染料薄膜的飞秒激光烧蚀转移”放射化学。73. 17-21 (2002)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Tsuyoshi Asahi, Hiroshi Y.Yoshikawa, Masaki Yashiro, Hiroshi Masuhara: "Femtosecond Laser Ablation Transfer and Phase Trasition of Phthalocyanine Solids"Applied Surface Science. 197-. 777-781 (2002)
Tsuyoshi Asahi、Hiroshi Y.Yoshikawa、Masaki Yashiro、Hiroshi Masuhara：“飞秒激光烧蚀转移和酞菁固体的相变”应用表面科学。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
フェムト秒レーザーマイクロ津波による細胞配置技術と組織再構成チップ作成技術の開発
  • 批准号：
    20034061
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $1.98万
  • 财政年份：
    2008
  • 负责人：
    増原 宏
  • 依托单位：
    Nara Institute of Science and Technology
蛋白クロモファ分子の超高速光反応ダイナミクス
  • 批准号：
    05F05387
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $0.7万
  • 财政年份：
    2005
  • 负责人：
    増原 宏
  • 依托单位：
    Osaka University
フェムト秒レーザー誘起衝撃波による単一細胞の操作とナノ粒子導入法の開発
  • 批准号：
    16651067
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额：
    $2.18万
  • 财政年份：
    2004
  • 负责人：
    増原 宏
  • 依托单位：
    Osaka University
分子系の極微構造反応の計測とダイナミクス