電子イオン同時計測によるスパッタ粒子のイオン化過程の研究

电子和离子同时测量研究溅射粒子的电离过程

• 批准号: 14655016
• 负责人: 曽田 一雄
• 金额: $ 2.18万
• 依托单位: Nagoya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Exploratory Research
• 财政年份: 2002
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2002 至 2003
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-14655016/
• 关键词: 電子イオン同時計測; スパッタリング; イオン化過程

本研究の目的は、スパッタ時に放出されるオージェ電子とスパッタイオンとの同時計測によって、スパッタによる2次イオン生成において重要なイオン化機構とされているオージェ電子遷移を含むイオン化過程を選択的に抽出し、スパッタにおけるイオン化機構とその逆過程としての中性化機構を明らかにすることである。このため、代表例としてSi(111)-7x7清浄表面あるいは単原子層M金属吸着si(111)M-√<3>x√<3>表面における中性Ar粒子によるスパッタ粒子のイオン化機構を明らかにする。これにより、材料表面層の微量組成分析手法として実用化されている2次イオン質量分析(SIMS)における定量化の信頼性向上に資する。本年度は、昨年度に引き続き、電子イオン同時計測のため、現有のパルスイオンビームとレーザー共鳴イオン化分光装置を用いた表面微量元素分析装置に、飛行時間分解法によるイオン検出器と同軸円筒鏡型電子エネルギー分析器とから成る電子イオン同時計測システムを構築するための整備と調整を行った。具体的には、試料から放出される電子とイオンの軌道解析に基づき、同軸円筒鏡型電子エネルギー分析器の改造を行い、同時計測回路の検討と調整を行った。また、Si(111)表面に対して残存酸素と2次イオン生成効率との関係を調べ、極微量酸素が与えるマトリックス効果について検討した。今後、改造した同軸円筒鏡型電子エネルギー分析器を用いて放出電子スペクトルを測定し、電子イオン同時計測により、オージェ電子エネルギーを規定した時のイオン化効率を測定することでイオン化機構を検討する。

The purpose of this study is to measure the electron migration mechanism in the second generation of electron migration, including the electron migration mechanism in the second generation of electron migration, and to determine the electron migration mechanism in the second generation of electron migration. Representative examples include Si(111)-7x7, Si(111)-7x7, Si(1111)-7x7, Si(1117)-7x7, Si (117x7)-7x7<3>, Si (17x7), Si <3>( The analysis method of trace composition of the surface layer of the material is applied to the analysis of secondary mass spectrometry (SIMS) and quantitative information. This year, the company introduced a series of electronic simultaneous measurement devices, and the existing electronic resonance spectrometer was used in the surface trace element analysis device, and the time of flight resolution method was used in the preparation of the electronic simultaneous measurement device. Specifically, the basic analysis of the orbit of the electrons and electrons emitted from the sample, the modification of the coaxial cylindrical mirror-type electronic electron analyzer, and the discussion and adjustment of the measurement circuit are carried out. Si(111) surface to the residual acid, the second order of the formation efficiency of the relationship between the adjustment, fine acid and the effect of the investigation In the future, the coaxial cylindrical mirror type electron analyzer will be used to measure the electron emission rate, the electron emission rate and the electron emission rate.