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非平衡プラズマ結晶成長技術による超高耐圧窒化アルミニウム系半導体電子素子の創製

非平衡プラズマ結晶成長技術による超高耐圧窒化アルミニウム系半導体電子素子の創製
利用非平衡等离子体晶体生长技术制造超高压氮化铝半导体电子器件
批准号：
23H01864
负责人：
上野 耕平
金额：
$8.57万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2023
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2023-04-01 至 2026-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-23H01864/
关键词：
窒化アルミニウムスパッタリングパワーデバイス結晶成長

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非平衡プラズマ結晶成長技術による超高耐圧窒化アルミニウム系半導体電子素子の創製
  • 批准号：
    23K26557
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $3.41万
  • 财政年份：
    2024
  • 负责人：
    上野 耕平
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
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  • 批准号：
    21K11551
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $2.0万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    上野 耕平
  • 依托单位：
    Kagawa University
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