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情報機器のための光路制御マイクロメカニズムの基礎研究

信息设备光路控制微机构基础研究

基本信息

批准号：
16656082
负责人：
佐藤海二
金额：
$ 2.24万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2004
资助国家：
日本
起止时间：
2004 至 2005
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-16656082/
关键词：
光スイッチ MEMS 光路制御薄膜ミラー静電力反射ミラー

项目摘要

本研究では,構造が簡単で,可動部質量が小さい,容易に光路を90°変化可能,光の到達位置の微調整が容易といった特長をもち,光ディスクや光スイッチに利用できる新しいMEMS技術を利用した光路制御マイクロメカニズムを提案し,その有効性を検証することを目的としている.そのために本年度は,次のことを行った.1.駆動電圧の低減方法の検討これまで光路制御マイクロメカニズムの駆動電圧を275Vに設定していたが,その低減方法を検討するために,光路制御マイクロメカニズムを構成する2個の基板間のギャップや薄膜ミラーの厚さ,絶縁膜の厚さが駆動電圧に与える影響を実験的に調べた.その結果,これらが駆動電圧に影響を与えることを明らかにし,駆動電圧130Vで安定して薄膜ミラーを駆動できることが明らかになった.2.光の照射スポット位置の高精度化の検討光の照射スポット位置の測定精度を向上するとともに,試作光路制御マイクロメカニズムの組み立て調整を慎重に行った結果,照射スポット位置を安定的かつ良好な精度でスイッチングすることが可能になった.また上記(1)と同じ条件での実験結果が照射位置精度に与える影響を評価した結果,ギャップを縮小することで,精度が向上することがわかった.3.出力チャンネル数を増加させた光路制御マイクロメカニズムの試作と大ステップ応答実験これまでの試作光路制御マイクロメカニズムは出力チャンネル数が4チャンネルであったが,本年度は8チャンネルに拡張して動作試験を次の様に行った.その結果,隣り合うチャンネル間のみならず,任意のチャンネル間の切り換えも安定してできることを確認できた.

The purpose of this study is to improve the performance of the optical system by using the new MEMS technology, which makes it possible that the optical path can be easily changed by 90 °, and that it is easy to improve the performance of the optical system by using the new optical technology. For the current year, please pay attention to this year. 1. The low-voltage method is used to control the optical system, and the optical system is used to set the device for 275V. The optical method is sensitive to the thickness of the film between the two substrates, and the thickness of the film is higher than that of the film. According to the results of the test, you will be able to verify the performance of both the video and the radio, and the stability of the film at 130V and the performance of the thin film. The accuracy of the measurement of the position of the laser is high-precision. The accuracy of the position measurement is up. The results of the light path control system are adjusted carefully. The results show that the position is stable and the accuracy is good. The results show that the accuracy of irradiation position is the same as that of radiation position, the accuracy of irradiation position is different from that of radiation position, the accuracy of irradiation position is different from that of radiation position accuracy. In order to increase the number of light path control systems, we need to increase the number of light path control systems. this year, we will make sure that we are responsible for the system of light path control. This year, we will do something in this year. The results show that you can make sure that you do not know what you are going to do.